| 講演名 | 2003/1/9 超100Gbit/s級OEICのためのチップ上光配線(WOW)構造 明吉 智幸, 小野寺 清光, 荒武 淳, 青山 眞二, 石井 隆生, 徳光 雅美, |
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| 抄録(和) | 将来の超1OOGbit/s級受信用OEICの光インターフェースとして、実装上の制限を緩和し、かつ、実装コストを低減するためチップ上に光配線構造を作製する技術を構築した。OEICを作製したウエハ上に後工程で光配線構造を作製することができる有機材料を用いたWOW(Waveguide on wafer)構造を作製し、PDへの給光特性を評価した。更にチップ上光配線構造を有するOEICのO/E特性をウエハ状態のままで評価できるon waferプローバを開発し、40Gbit/sのO/E変換特性を確認した。また、WOW構造付きOEICチップをパッケージ実装するための内装基板として、GaAs基板上に信号線下を堀込んだグランドコプレーナ線路を作製・評価し、スルー線路に於いて1d B/mm@110GHz以下の挿入損を確認した。 |
| 抄録(英) | Optical waveguides were monolithically integrated with an OEIC to fabricate an ultra-fast optical interconnection and cost-effective photo-receiver module. Additionally, an on-wafer OE-probing system was developed, and we observed a 40-Gbit/s electronic eye diagram from an optical input signal. Substrates for flip-chip bonding with micormachined coplanar waveguides were fabricated, and the insertion loss of less than 1 dB/mm at 110 GHz were observed. |
| キーワード(和) | 光配線 / OEIC / V溝 / 屈折入射 / パッシブアライメント / 半田バンプ |
| キーワード(英) | OEIC / V-groove / polymer / waveguide / preferential etching / passive alignment / bump |
| 資料番号 | ED2002-261,MW2002-148 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2003/1/9(から1日開催) |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 超100Gbit/s級OEICのためのチップ上光配線(WOW)構造 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Monolithically Integrated Photoreceiver with Optical Waveguide for 100-Gbit/s Class OEIC |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光配線 / OEIC |
| キーワード(2)（和/英） | OEIC / V-groove |
| キーワード(3)（和/英） | V溝 / polymer |
| キーワード(4)（和/英） | 屈折入射 / waveguide |
| キーワード(5)（和/英） | パッシブアライメント / preferential etching |
| キーワード(6)（和/英） | 半田バンプ / passive alignment |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 明吉 智幸 / Tomoyuki AKEYOSHI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | NTTフォトニクス研究所 NTT Photonics Laboratories, NTT Corporation |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 小野寺 清光 / Kiyomitsu ONODERA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | NTTフォトニクス研究所 NTT Photonics Laboratories, NTT Corporation |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 荒武 淳 / Atsushi ARATAKE |
| 第 3 著者 所属（和/英） | NTTフォトニクス研究所 NTT Photonics Laboratories, NTT Corporation |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 青山 眞二 / Shinji AOYAMA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | NTTフォトニクス研究所 NTT Photonics Laboratories, NTT Corporation |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 石井 隆生 / Takao ISHII |
| 第 5 著者 所属（和/英） | NTTフォトニクス研究所 NTT Photonics Laboratories, NTT Corporation |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 徳光 雅美 / Masami TOKUMITSU |
| 第 6 著者 所属（和/英） | NTTフォトニクス研究所 NTT Photonics Laboratories, NTT Corporation |
| 発表年月日 | 2003/1/9 |
| 資料番号 | ED2002-261,MW2002-148 |
| 巻番号（vol） | vol.102 |
| 号番号（no） | 556 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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