| 講演名 | 2004/5/7 電子線蒸着法による石英基板上へのSrS:Cu薄膜の作製と評価(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料)) 以西 雅章, 市川 哲章, 深谷 健太郎, 増田 健一郎, 稲垣 優輝, 柴田 佳幸, 藤安 洋, |
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| 抄録(和) | 青色発光EL素子の高輝度化を目的として、SrS:Cu薄膜を作製した。作製には電子線蒸着装置を用いた。アニール温度、基板温度、発光中心Cu_2S濃度を変数として最適条件を調査した。アニール温度の高温化により結晶性が非常に向上した。基板温度は450℃が、最適であることが分かった。発光中心濃度の最適値は現在までのところ得られていない。 |
| 抄録(英) | SrS:Cu films for blue EL elements were prepared by electron beam deposition method. An optimum deposition condition was investigated by varying various parameters, for example, annealing temperature, substrate temperature, concentration of Cu_2S emission center and so on. It was found that the substrate temperature of450℃ gave good film properties. An optimum value of Cu_2S concentration has not been determined yet. |
| キーワード(和) | 青色発光素子 / SrS:Cu / アニール / 基板温度 |
| キーワード(英) | Blue EL elements / SrS:Cu films / annealing / Substrate temperature |
| 資料番号 | ED2004-29,CPM2004-24,SDM2004-29 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2004/5/7(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 電子線蒸着法による石英基板上へのSrS:Cu薄膜の作製と評価(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料)) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Preparation and evaluation of SrS:Cu films prepared by electron beam deposition |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 青色発光素子 / Blue EL elements |
| キーワード(2)（和/英） | SrS:Cu / SrS:Cu films |
| キーワード(3)（和/英） | アニール / annealing |
| キーワード(4)（和/英） | 基板温度 / Substrate temperature |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 以西 雅章 / Masaaki Isai |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 静岡大学理工学研究科 Graduate School of Science & Engineering, Shizuoka University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 市川 哲章 / Tetsuaki Ichikawa |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 深谷 健太郎 / Kentarou Fukaya |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 増田 健一郎 / Kenichirou Masuda |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 稲垣 優輝 / Yuuki Inagaki |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 柴田 佳幸 / Yoshiyuki Shibata |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 静岡大学理工学研究科 Graduate School of Science & Engineering, Shizuoka University |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 藤安 洋 / Hiroshi Fujiyasu |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 静岡大学理工学研究科 Graduate School of Science & Engineering, Shizuoka University |
| 発表年月日 | 2004/5/7 |
| 資料番号 | ED2004-29,CPM2004-24,SDM2004-29 |
| 巻番号（vol） | vol.104 |
| 号番号（no） | 42 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |