| 講演名 | 2004/5/7 石英アンプルによるLi二次電池用Mn_3O_4薄膜の生成(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料)) 以西 雅章, 上木原 浩輝, 清水 寛俊, 永塩 豊, 藤安 洋, |
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| 抄録(和) | Li二次電池の正極物質として、 Mn酸化物が注目されている。Mn酸化物薄膜は反応性蒸着法により生成している。蒸着の際にるつぼ内の金属Mnの酸化を防止するために、石英アンプル(quartz ampoule)を設置した。また、Mn酸化物薄膜の成長速度は初回15(Å/s)付近で再現性が良いことがわかっている。本研究では、生成されるMn酸化物薄膜の再現性が良くなるような、石英アンプルの首の長さなどの蒸着変数を調査した。 |
| 抄録(英) | Manganese oxides have been focused as a cathode material in the Li secondary batteries. These films are prepared by a reactive evaporation method. There is a problem that manganese metal is drastically oxidized through the first deposition run. A quartz ampoule was installed in the crucible to keep the manganese metal off the oxygen atmosphere. It was well known that Mn_3O_4 films were successfully prepared under the deposition rate of 15Å/s in the fust deposition run. The dependence of deposition rate on the neck length was investigated to prepare Mn_3O_4 films with high reproducibility. |
| キーワード(和) | Li二次電池 / マンガン酸化物薄膜 / Li-Mnスピネル構造 / 反応性蒸着法 |
| キーワード(英) | Li secondary batteries / Manganese oxide films / Li-Mn spinel structure / Reactive evaporation |
| 資料番号 | ED2004-26,CPM2004-21,SDM2004-26 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2004/5/7(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 石英アンプルによるLi二次電池用Mn_3O_4薄膜の生成(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料)) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Preparation of Mn_3O_4 films for secondary batteries by using quartz ampoule |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | Li二次電池 / Li secondary batteries |
| キーワード(2)（和/英） | マンガン酸化物薄膜 / Manganese oxide films |
| キーワード(3)（和/英） | Li-Mnスピネル構造 / Li-Mn spinel structure |
| キーワード(4)（和/英） | 反応性蒸着法 / Reactive evaporation |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 以西 雅章 / Masaaki Isai |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 上木原 浩輝 / Kouki Kamikihara |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 清水 寛俊 / Hirotosi Shimizu |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 静岡大学理工学研究科 Graduate School of Science, Shizuoka University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 永塩 豊 / Yutaka Nagashio |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 藤安 洋 / Hiroshi Fujiyasu |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 発表年月日 | 2004/5/7 |
| 資料番号 | ED2004-26,CPM2004-21,SDM2004-26 |
| 巻番号（vol） | vol.104 |
| 号番号（no） | 42 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |