| 講演名 | 2004/8/20 シリカ系薄膜における可視発光(光・電子デバイス実装、及びデバイス技術,一般) 宇野 武彦, 野毛 悟, 霜鳥 寛崇, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 筆者らは先にゲルマニウムをドープしたシリカガラス(Ge:SiO_2),、チタンドープシリカガラス(Ti::Si0_2)およびスズドープシリカガラス(Sn:Si0_2)を数nm～数10nmの厚さで周期的に積層した薄膜(ここではシリカ系人工格子と仮称する)において、分極処理により圧電性を付与できることをすでに報告した。今回、この薄膜に紫外光を照射することにより、熱処理をしない状態において可視発光現象が観測されたので報告する。励起光としては波長248nmのエキシマレーザー光(パルス光)、および波長254nmの水銀ランプ光(連続光)を用いたが、いずれにおいても白色に近い発光が観測されている。パルス光による蛍光寿命を観測の結果、ライフタイムは約20nsであった。Tiドープシリカでは、青色発光が報告されているが、上記のような3種ガラスを格子構造とすることにより、白色に近い発光が得られる。超格子構造としないで3種のドープイオンを同時にドープした単層構造の薄膜でも同様な発光は観測されるが、各ドーパントを単独にドープした周期構造とすることにより、圧電性が得られるとともに高温熱処理による微粒子化も回避でき、新しい可視発光の機能性薄膜として期待されるものと考える。 |
| 抄録(英) | Luminescence of white light in silica films with impurities has been studied. The silica films were prepared by RF magnetron sputtering method. Germanium, titanium and tin were used as the dopant materials. In films with single dopant material, relatively weak visible light luminescence was observed. On the other hand, silica films with simultaneously doped materials of Ge, Ti and Sn show strong white luminescent characteristics. However, thermal treatment above 650℃ was necessary to obtain the luminescence. We examined a new silica film with artificial lattice structure to obtain white light luminescence without thermal treatment process. In this structure, layers of Ge : SiO_2 (germanium doped silica), Ti : SiO_2 and Sn : SiO_2 were periodically stacked. Thickness of each layer was 10-20 nm, and more then 100 layers ware stacked for a film of a few micrometers. Relatively strong white light luminescence was observed in the artificial lattice film without thermal treatment. |
| キーワード(和) | シリカガラス / シリカ薄膜 / 人工格子 / 発光 / 白色発光 |
| キーワード(英) | silica glass / silica thin film / artificial lattice / luminescence / visible light luminescence |
| 資料番号 | EMD2004-54,CPM2004-80,OPE2004-137,LQE2004-52 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
|---|---|
| 開催期間 | 2004/8/20(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | シリカ系薄膜における可視発光(光・電子デバイス実装、及びデバイス技術,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Luminescence of Visible Light in Silica Glass Films |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | シリカガラス / silica glass |
| キーワード(2)（和/英） | シリカ薄膜 / silica thin film |
| キーワード(3)（和/英） | 人工格子 / artificial lattice |
| キーワード(4)（和/英） | 発光 / luminescence |
| キーワード(5)（和/英） | 白色発光 / visible light luminescence |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 宇野 武彦 / Takehiko UNO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学電気電子工学科 Department of Electronic and Electronics Eng., Kanagawa Institute of Techonology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 野毛 悟 / Satoru NOGE |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学電気電子工学科 Department of Electronic and Electronics Eng., Kanagawa Institute of Techonology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 霜鳥 寛崇 / Hirotaka SHIMOTORI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学電気電子工学科 Department of Electronic and Electronics Eng., Kanagawa Institute of Techonology |
| 発表年月日 | 2004/8/20 |
| 資料番号 | EMD2004-54,CPM2004-80,OPE2004-137,LQE2004-52 |
| 巻番号（vol） | vol.104 |
| 号番号（no） | 266 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |