| 講演名 | 2004/8/19 光導波路を用いたボードレベル光インタコネクション : 光路変換用マイクロミラーの開発(光・電子デバイス実装、及びデバイス技術,一般) 塩田 剛史, |
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| 抄録(和) | 光導波路を用いたボードレベル光インタコネクションの実用化への課題は、90度光路変換を含んだ簡便な光結合技術の開発である。基板内の任意の箇所からの光の取り出しを可能にするマイクロミラーの開発が必要とされている。そこで我々は、任意の光導波路コアから光入出力を可能とするマイクロミラーの形成方法を開発した。フッ素化ポリイミド光導波路に対して斜めにKrFエキシマレーザを照射させることにより、45度マイクロミラーが±1度の精度で形成できた。加工したマイクロミラーは平面ミラーではなく、コアの幅方向に対して凹面ミラー形状となっていた。これは、集光効果が期待され、90度光路変換を伴う光結合において、非常に有利と考えられる。得られたマイクロミラーの反射損失は約0.6dBであり、実用レベルであることが示された。 |
| 抄録(英) | The main issue for realization of board-level optical interconnection is development of an easy optical coupling technique including a 90 degree optical path conversion. A micro-mirror is necessary for sending or receiving signals everywhere in a waveguide. We demonstrated the micro-mirror formed using an excimer laser processing for a fluorinated polyimide waveguide film. The tilted excimer laser irradiation to a waveguide core formed micro-mirrors with an angle of 45±1 degree. The micro-mirror had a cylindrical shape and exhibited a lens effect as a concave mirror. The micro-mirror exhibited a low reflection loss of approximately 0.6dB at the wavelength of 850nm. |
| キーワード(和) | フッ素化ポリイミド光導波路 / エキシマレーザ加工 / マイクロミラー / 凹面ミラー / 反射損失 |
| キーワード(英) | fluorinated polyimide waveguide / excimer laser processing / micro-mirror / concave mirror / reflection loss |
| 資料番号 | EMD2004-35,CPM2004-61,OPE2004-118,LQE2004-33 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2004/8/19(から1日開催) |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 光導波路を用いたボードレベル光インタコネクション : 光路変換用マイクロミラーの開発(光・電子デバイス実装、及びデバイス技術,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Board-level Optical Interconnection Using Polymeric Waveguide |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | フッ素化ポリイミド光導波路 / fluorinated polyimide waveguide |
| キーワード(2)（和/英） | エキシマレーザ加工 / excimer laser processing |
| キーワード(3)（和/英） | マイクロミラー / micro-mirror |
| キーワード(4)（和/英） | 凹面ミラー / concave mirror |
| キーワード(5)（和/英） | 反射損失 / reflection loss |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 塩田 剛史 / Tsuyoshi SHIODA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 三井化学株式会社機能材料研究所 Electronic & Engineered Materials Laboratory, Mitsui Chemicals Inc. |
| 発表年月日 | 2004/8/19 |
| 資料番号 | EMD2004-35,CPM2004-61,OPE2004-118,LQE2004-33 |
| 巻番号（vol） | vol.104 |
| 号番号（no） | 265 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |