| 講演名 | 2004/2/27 微細加工TbFe合金膜へのパルス電流加熱による熱磁気記録(光記録及び一般) 増渕 巧, 加藤 剛志, 綱島 滋, 岩田 聡, |
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| 抄録(和) | マグネトロンスパッタ法により作製したTbFe(80nm)膜を集束イオンビーム(FIB)およびフォトリソグラフィーにより0.5μm□から2μm□の寸法に加工し,パルス電流加熱による熱磁気記録を行った.0.5μm□から2μm□の試料において500Oe の磁場中で電流パルスを印加することで磁化反転することを確認した.磁化反転した電流密度は素子サイズが小さくなるに従い減少し,2μm□,1.0μm□,0.5μm□の素子でそれぞれ4.0×10^6,2.5×10^6,1.3×10^6A/cm^2であった.これは素子面積あたりのジュール熱に換算してそれぞれ33,13,3pJ/μm^2に相当する. |
| 抄録(英) | Thermomagnetic recording has been investigated by using pulse current heating in microfabricated TbFe (80 nm) alloy films. The TbFe films were prepared by rf magnetron sputtering and patterned into sizes of 0.5-2.0μm squares by either of a fucused ion beam or a contact mask photolithography. Magnetization reversal was observed by applying a pulse current with a magnetic field of±500 Oe for 0.5-2.0μm squared TbFe elemetns. The current density for the reversal was found to decrease with decreasing size of elements, which was 4.0×10^6,2.5×10^6,1.3×10^6A/cm^2 for 2.0, 1.0, and 0.5μm squared TbFe elements, respectively. Corresponding Joule heating in an unit area is estimated to be 33, 13, 3 pJ/μm^2 for the elements, respectively. |
| キーワード(和) | MRAM / TbFe / 熱磁気記録 / 微細加工 |
| キーワード(英) | MRAM / TbFe / Thermomagnetic recording / Microfabrication |
| 資料番号 | MR2003-61,CPM2003-192 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2004/2/27(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 微細加工TbFe合金膜へのパルス電流加熱による熱磁気記録(光記録及び一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Thermonagnetic Recording in Microfabricated TbFe Alloy Films Using Pulse Current |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | MRAM / MRAM |
| キーワード(2)（和/英） | TbFe / TbFe |
| キーワード(3)（和/英） | 熱磁気記録 / Thermomagnetic recording |
| キーワード(4)（和/英） | 微細加工 / Microfabrication |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 増渕 巧 / Takumi MASUBUCHI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 名古屋大学工学研究科 Graduate School of Engineering, Nagoya University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 加藤 剛志 / Takeshi KATO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 名古屋大学工学研究科 Graduate School of Engineering, Nagoya University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 綱島 滋 / Shigeru TSUNASHIMA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 名古屋大学工学研究科 Graduate School of Engineering, Nagoya University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 岩田 聡 / Satoshi IWATA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 名古屋大学先端技術共同研究センター CCRAST, Nagoya University |
| 発表年月日 | 2004/2/27 |
| 資料番号 | MR2003-61,CPM2003-192 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 696 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |