講演名 | 2003/11/4 MOVPE成長InNのフォトルミネッセンス(薄膜プロセス・材料,一般) 浜野 裕介, 高塚 浩史, 杉田 憲一, 橋本 明弘, 山本 〓勇, |
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抄録(和) | 常圧MOVPE成長のInN膜について、PLスペクトルの測定を行い、試料の成長条件ならびに電気的特性との関係を明らかにするとともに、これまでに報告されているMBE成長InN膜のPLスペクトルとの比較を行った。 |
抄録(英) | Photoluminescence spectrum measurement has been made for InN films grown by the atmospheric-pressure MOVPE. Correlations between PL spectra and growth conditions and electriciil properties of the films are studied. The data obtained are compared with those for MBE samples ever reported. |
キーワード(和) | 窒化インジウム / MOVPE / フォトルミネッセンス / キャリア濃度 |
キーワード(英) | InN / MOVPE / photoluminescence / carrier concentration |
資料番号 | CPM2003-152 |
発行日 |
研究会情報 | |
研究会 | CPM |
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開催期間 | 2003/11/4(から1日開催) |
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幹事補佐氏名(英) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | MOVPE成長InNのフォトルミネッセンス(薄膜プロセス・材料,一般) |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | Photoluminescence of MOVPE grown InN |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | 窒化インジウム / InN |
キーワード(2)(和/英) | MOVPE / MOVPE |
キーワード(3)(和/英) | フォトルミネッセンス / photoluminescence |
キーワード(4)(和/英) | キャリア濃度 / carrier concentration |
第 1 著者 氏名(和/英) | 浜野 裕介 / Y. Hamano |
第 1 著者 所属(和/英) | 福井大学工学部 Faculty of Eng., Fukui University |
第 2 著者 氏名(和/英) | 高塚 浩史 / T. Takatsuka |
第 2 著者 所属(和/英) | 福井大学工学部 Faculty of Eng., Fukui University |
第 3 著者 氏名(和/英) | 杉田 憲一 / K. Sugita |
第 3 著者 所属(和/英) | 福井大学工学部 Faculty of Eng., Fukui University |
第 4 著者 氏名(和/英) | 橋本 明弘 / A. Hashimoto |
第 4 著者 所属(和/英) | 福井大学工学部 Faculty of Eng., Fukui University |
第 5 著者 氏名(和/英) | 山本 〓勇 / A. Yamamoto |
第 5 著者 所属(和/英) | 福井大学工学部 Faculty of Eng., Fukui University |
発表年月日 | 2003/11/4 |
資料番号 | CPM2003-152 |
巻番号(vol) | vol.103 |
号番号(no) | 412 |
ページ範囲 | pp.- |
ページ数 | 4 |
発行日 |