| 講演名 | 2003/11/4 TaN_x薄膜抵抗体における基板表面粗さの影響(薄膜プロセス・材料,一般) 作田 輝行, 小畑 元樹, 原田 佳和, 林部 林平, 阿部 克也, 上村 喜一, |
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| 抄録(和) | 微細な精度が要求される薄膜抵抗体を設計する際には,抵抗体の長さや幅のみならず,基板表面の形伏(粗さ)が重要となる.本研究では異なる表面粗さを持つ基板上に,スパッタ法を用いて窒化タンタル薄膜抵抗体を作製し,基板表面粗さが抵抗値へ及ぼす影響について,モデルを仮定し理論解析を行った.その結果,理論モデルによって,実験結果を定性的に説明できることが分かった. |
| 抄録(英) | In order to fabricate highly precisice thin film resistors, it is important to take account of not only the resistor pattern but also the surface morphology of the substrate. In this work, the relationship between the surface roughness and resistance was investigated by comparing experimental data with theoretical values calculated using the simple surface model. The resistance values on a ceramics substrate with varying surface roughness could be explained qualitatively by the theoretical model. |
| キーワード(和) | Ta_2N / 薄膜抵抗体 / 表面粗さ / AlNサブマウント |
| キーワード(英) | Ta_2N / thin film resistor / surface roughness / AlN submount |
| 資料番号 | CPM2003-146 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2003/11/4(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | TaN_x薄膜抵抗体における基板表面粗さの影響(薄膜プロセス・材料,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Effect of surface roughness for TaN_x thin film resistor |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | Ta_2N / Ta_2N |
| キーワード(2)（和/英） | 薄膜抵抗体 / thin film resistor |
| キーワード(3)（和/英） | 表面粗さ / surface roughness |
| キーワード(4)（和/英） | AlNサブマウント / AlN submount |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 作田 輝行 / Teruyuki SAKUDA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Shinshu University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 小畑 元樹 / Motoki OBATA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Shinshu University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 原田 佳和 / Yoshikazu HARADA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Shinshu University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 林部 林平 / Rinpei HAYASHIBE |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Shinshu University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 阿部 克也 / Katsuya ABE |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Shinshu University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 上村 喜一 / Kiichi KAMIMURA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Shinshu University |
| 発表年月日 | 2003/11/4 |
| 資料番号 | CPM2003-146 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 412 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
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