| 講演名 | 2003/11/4 ケミカルバス法によるZnO薄膜の堆積(薄膜プロセス・材料,一般) 大島 浩平, 土屋 裕之, 小林 敏志, 坪井 望, 金子 双男, |
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| 抄録(和) | ケミカルバス(CBD)法によるガラス基板へのZnO薄膜堆積は難しいと言われてきた。そこで、ガラス基板を溶液に浸す回数と時間、および熱処理の有無と温度をパラメータにしてCBD法によるZnO薄膜作製を試みた。基板を溶液に浸すだけではその後の熱処理の有無に関係なくZnO薄膜は得られなかったが、1回浸した後に200℃以上の温度で熱処理を行い、再度溶液に浸すとZnOとZn(OH)_2が混在する膜が得られた。更にこれを200℃以上で熱処理すると、Zn(OH)_2が消滅しZnOだけの薄膜が得られた。この方法により、膜厚0.5～1.3μmで配向性がよく透明なウルツ鉱型のZnO薄膜を得ることができた。 |
| 抄録(英) | It has often been reported that the deposition of ZnO films on glass substrates by the chemical bath deposition (CBD) method is hard. However, it is found that the wurtzite type ZnO films with high orientation and transparency are grown by the continuous dipping followed by the annealing at temperatures higher than 200℃ in air for the pre-annealed films after the first dipping. The films without pre-annealing cannot be grown into ZnO by the continuous dipping. The films range in thickness from 0.5 to 1.3 μm. |
| キーワード(和) | ZnO / 薄膜 / ケミカルバス(CBD)法 / ウルツ鉱型 / X線回折 |
| キーワード(英) | ZnO / thin films / chemical-bath deposition / wurtzite type / x-ray diffraction |
| 資料番号 | CPM2003-145 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2003/11/4(から1日開催) |
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| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ケミカルバス法によるZnO薄膜の堆積(薄膜プロセス・材料,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Preparation of ZnO thin films by the chemical bath deposition |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ZnO / ZnO |
| キーワード(2)（和/英） | 薄膜 / thin films |
| キーワード(3)（和/英） | ケミカルバス(CBD)法 / chemical-bath deposition |
| キーワード(4)（和/英） | ウルツ鉱型 / wurtzite type |
| キーワード(5)（和/英） | X線回折 / x-ray diffraction |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 大島 浩平 / Kouhei OSHIMA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 新潟大学大学院自然科学研究科 Graduate School of Science and Technology, Niigata University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 土屋 裕之 / Hiroyuki TSUCHIYA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 新潟大学工学部 Faculty of Engineering, Niigata University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 小林 敏志 / Satoshi KOBAYASHI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 新潟大学工学部 Faculty of Engineering, Niigata University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 坪井 望 / Nozomu TSUBOI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 新潟大学工学部 Faculty of Engineering, Niigata University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 金子 双男 / Futao KANEKO |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 新潟大学工学部 Faculty of Engineering, Niigata University |
| 発表年月日 | 2003/11/4 |
| 資料番号 | CPM2003-145 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 412 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |