| 講演名 | 2003/11/3 スパッタ法によるReO_3/SrCuO_2積層膜の作製(薄膜プロセス・材料,一般) 深井 久美子, 桝井 基至, 岩田 展幸, 山本 寛, |
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| 抄録(和) | 我々は新しい高温超伝導体として、無限層SrCuO_2とキャリア供給層ReO_3の積層膜を提案した。SrCuO_2薄膜とReO_3薄膜は、それぞれ別のRFスパッタリング装置によって作製した。結晶性の良いSrCuO_2は成膜中に基板温度を与えることによって得ることができ、得られた膜は半導体的な伝導を示した。 ReO_3薄膜は成膜後のアニールによって得ることができ、その伝導性は金属的であった。ReO_3/SrCuO_2積層膜を作製し、初めて電気伝導性を測定したが、期待した超伝導は観察されなかった。 |
| 抄録(英) | We proposed the multilayered films with SrCuO_2 as infinite layer and ReO_3 as charge reservoir block in order to novel high-Tc superconductors. The tetragonal SrCuO_2 thin films which have high crystalinity were obtained by substrate heating and showed semiconducting behavior. The ReO_3 thin films were obtained by in-situ post-annealing and showed metallic behavior. The ReO_3/SrCuO_2 bilayered film was prepared and that resistivity was observed for the first time, however, superconductivity was not observed. |
| キーワード(和) | Re酸化物 / 無限層 / スパッタ / 抵抗率 |
| キーワード(英) | Re oxide / infinite layer / sputtering / resistivity |
| 資料番号 | CPM2003-138 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2003/11/3(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | スパッタ法によるReO_3/SrCuO_2積層膜の作製(薄膜プロセス・材料,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Preparation of ReO_3/SrCuO_2 Bilayered Films |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | Re酸化物 / Re oxide |
| キーワード(2)（和/英） | 無限層 / infinite layer |
| キーワード(3)（和/英） | スパッタ / sputtering |
| キーワード(4)（和/英） | 抵抗率 / resistivity |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 深井 久美子 / Kumiko FUKAI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 日本大学理工学部 College of Science and Technology, Nihon University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 桝井 基至 / Motoshi MASUI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 日本大学理工学部 College of Science and Technology, Nihon University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 岩田 展幸 / Nobuyuki IWATA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 日本大学理工学部 College of Science and Technology, Nihon University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 山本 寛 / Hiroshi YAMAMOTO |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 日本大学理工学部 College of Science and Technology, Nihon University |
| 発表年月日 | 2003/11/3 |
| 資料番号 | CPM2003-138 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 411 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |