| 講演名 | 2003/9/26 真空紫外及び軟X線用光学フィルタとGaNショットキー型紫外線受光素子の特性評価(窒化物及び混晶半導体デバイス) 渡邉 博信, 元垣内 敦司, 平松 和政, 福井 一俊, 濱村 寛, 只友 一行, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 真空紫外から軟X線領域の光(12.4～50 nm、25～100 ev)に対して、自立薄膜フィルタの透過特性とGaNショットキー型紫外線受光素子の受光特性を評価した。 Ti、Ti/Al/Ti、SiN薄膜をフィルタとして用いることで、分光器の回折格子からの高次光を抑制することができた。また、Ti/Auメンブレンの透過率から計算したショットキー電極Ni/Auの透過率は、この波長領域で約50～70%であり光を十分透過することがわかった。このようなフィルタと透明電極を用いて受光感度を測定したところ、真空紫外領域(30～50 nm)で約0.01A/W、軟X線では特に13 nmで約0.05A/Wの受光感度が得られた。 |
| 抄録(英) | The characterization of freestanding thin film filters and GaN based Schottky ultraviolet (UV) detectors were carried out from vacuum ultraviolet (VUV) to soft X-ray (SX) region (25-100 eV, 12.4-50 nm). The high order light from grating of monochrometer was able to be eliminated by using Ti, Ti/Al/Ti and SiN thin films as a filter. Moreover, the transmittance of Schottky electrode Ni/Au calculated from that of Ti/Au membrane was about 50-70% in this wavelength region, and it is enough thin to transmit VUV and SX light. Measured using such a filter and transparent electrode, this detector can also detect VUV and SX light. The responsivity in VUV (30-50 nm) and SX region (@13 nm) was about 0.01 and 0.05 A/W, respectively. |
| キーワード(和) | GaN / 紫外線受光素子 / 自立薄膜フィルタ / 軟X線 |
| キーワード(英) | GaN / UV detector / freestanding thin film filters / soft X-ray |
| 資料番号 | ED2003-148,CPM2003-118,LQE2003-66 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
|---|---|
| 開催期間 | 2003/9/26(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 真空紫外及び軟X線用光学フィルタとGaNショットキー型紫外線受光素子の特性評価(窒化物及び混晶半導体デバイス) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Characterization of optical filters and GaN based Schottky ultraviolet detector in vacuum ultraviolet and soft X-ray region |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | GaN / GaN |
| キーワード(2)（和/英） | 紫外線受光素子 / UV detector |
| キーワード(3)（和/英） | 自立薄膜フィルタ / freestanding thin film filters |
| キーワード(4)（和/英） | 軟X線 / soft X-ray |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 渡邉 博信 / Hironobu Watanabe |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 三重大学工学部 Mie University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 元垣内 敦司 / Atsushi Motogaito |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 三重大学工学部 Mie University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 平松 和政 / Kazumasa Hiramatsu |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 三重大学工学部 Mie University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 福井 一俊 / Kazutoshi Fukui |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 福井大学遠赤外領域開発研究センター Fukui University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 濱村 寛 / Yutaka Hamamura |
| 第 5 著者 所属（和/英） | (株)ニコン精機カンパニー Nikon Corporation |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 只友 一行 / Kazuyuki Tadatomo |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 三菱電線工業(株) 情報通信・フォトニクス研究所 Mitsubishi Cable Industries, LTD. |
| 発表年月日 | 2003/9/26 |
| 資料番号 | ED2003-148,CPM2003-118,LQE2003-66 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 344 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |