講演名 2003/9/25
近紫外LEDの開発(窒化物及び混晶半導体デバイス)
酒井 浩光, 安田 剛規, 友澤 秀喜, 奥山 峰夫,
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抄録(和) MOCVD法によりサファイア基板上に低温バッファ層を用いた近紫外LEDの作製を行った。フリップチップ型に実装し、エポキシ樹脂によりモールドした砲弾型のLEDランプにおいて20mA導通時に波長409nm、出力21.3mW、外部量子効率35%が得られた。一方、低温バッファ法に代わる新規成長技術として初期成長核形成(Seeding Process;SP)法を検討した。SP法により作製したGaN層のX線ロッキングカーブの半値幅は低温バッファ法を用いたGaNと同等の値であり、結晶性は良好であった。 SP法GaN上にLEDを作製した結果、波長409nm、出力20.4mW、外部量子効率34%と低温バッファ層上LEDと遜色なく、低温バッファを用いなくとも高効率LEDが得られた。
抄録(英) We fabricated near Ultra-Violet LED (UV-LED) on a sapphire substrate by MOCVD using the low temperature buffer process. When the near UV-LED was operated at a forward-bias current of 20mA at room temperature, the emission wavelength, the output power and external quantum efficiency were estimated to be 409nm, 21.3mW and 35%, respectively. These low temperature buffer process results were compared to our new seeding process (SP) approach for the fabrication of near UV-LED, which when operated at a forward-bias current of 20mA at room temperature, emitted at wavelength of 409nm, with an output power and external quantum efficiency of 20.4mW and 34%, respectively.
キーワード(和) 近紫外LED / 初期成長核形成(Seeding Process;SP)法
キーワード(英) near Ultra-Violet LED / Seeding Process
資料番号 ED2003-136,CPM2003-106,LQE2003-54
発行日

研究会情報
研究会 CPM
開催期間 2003/9/25(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Component Parts and Materials (CPM)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 近紫外LEDの開発(窒化物及び混晶半導体デバイス)
サブタイトル(和)
タイトル(英) Development of near Ultra-Violet LED
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) 近紫外LED / near Ultra-Violet LED
キーワード(2)(和/英) 初期成長核形成(Seeding Process;SP)法 / Seeding Process
第 1 著者 氏名(和/英) 酒井 浩光 / Hiromitsu SAKAI
第 1 著者 所属(和/英) 昭和電工株式会社 研究開発センター
Corporate R&D Center, Showa Denko K. K.
第 2 著者 氏名(和/英) 安田 剛規 / Takaki YASUDA
第 2 著者 所属(和/英) 昭和電工株式会社 研究開発センター
Corporate R&D Center, Showa Denko K. K.
第 3 著者 氏名(和/英) 友澤 秀喜 / Hideki TOMOZAWA
第 3 著者 所属(和/英) 昭和電工株式会社 研究開発センター
Corporate R&D Center, Showa Denko K. K.
第 4 著者 氏名(和/英) 奥山 峰夫 / Mineo OKUYAMA
第 4 著者 所属(和/英) 昭和電工株式会社 研究開発センター
Corporate R&D Center, Showa Denko K. K.
発表年月日 2003/9/25
資料番号 ED2003-136,CPM2003-106,LQE2003-54
巻番号(vol) vol.103
号番号(no) 343
ページ範囲 pp.-
ページ数 4
発行日