| 講演名 | 2003/9/25 低転位AlGaN上の紫外発光素子(窒化物及び混晶半導体デバイス) 飯田 一喜, 川島 毅士, 宮崎 敦嗣, 岩谷 素顕, 上山 智, 天野 浩, 赤崎 勇, |
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| 抄録(和) | 高効率短波長紫外発光素子を実現するためには低転位AlGaNが必須である。本論文では、周期溝構造を用いることで低転位化し、低温AlN中間層を挿入して歪を低減した高品質AlGaN上にGaN/AlGaN(MQW)活性層を有する紫外LEDを作製した。DC 100mAにおいて動作電圧4.5V、光出力4.7mWを得た。 |
| 抄録(英) | We report on the paformance of UV light emitting diode having GaN/AlGaN multi quantum well active layer on low dislocation density AlGaN grown by low-temperature AlN interlayer. Operating voltage is 4.5V and output power is 4.7mW at a forward current of D.C 100mA. |
| キーワード(和) | AlGaN / 低温AlN中間層 / 周期溝構造 / 紫外LED |
| キーワード(英) | AlGaN / LT-AlN interlayer / Periodic Trenches / UV-LED |
| 資料番号 | ED2003-133,CPM2003-103,LQE2003-51 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2003/9/25(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 低転位AlGaN上の紫外発光素子(窒化物及び混晶半導体デバイス) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | UV light emitting device grown on AlGaN with low-dislocation density |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | AlGaN / AlGaN |
| キーワード(2)（和/英） | 低温AlN中間層 / LT-AlN interlayer |
| キーワード(3)（和/英） | 周期溝構造 / Periodic Trenches |
| キーワード(4)（和/英） | 紫外LED / UV-LED |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 飯田 一喜 / K. Iida |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 名城大学大学院・理工学研究科 Faculty of Science and Technology, Meijo University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 川島 毅士 / T. Kawashima |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 名城大学大学院・理工学研究科 Faculty of Science and Technology, Meijo University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 宮崎 敦嗣 / A. Miyazaki |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 名城大学大学院・理工学研究科 Faculty of Science and Technology, Meijo University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 岩谷 素顕 / M. Iwaya |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 名城大学大学院・理工学研究科 Faculty of Science and Technology, Meijo University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 上山 智 / S. Kamiyama |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 名城大学大学院・理工学研究科:名城大学・ハイテクリサーチセンター:名城大学・ナノファクトリー Faculty of Science and Technology, Meijo University:High-Tech Research Center, Meijo University:Nano Factory, Meijo University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 天野 浩 / H. Amano |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 名城大学大学院・理工学研究科:名城大学・ハイテクリサーチセンター:名城大学・ナノファクトリー Faculty of Science and Technology, Meijo University:High-Tech Research Center, Meijo University:Nano Factory, Meijo University |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 赤崎 勇 / I. Akasaki |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 名城大学大学院・理工学研究科:名城大学・ハイテクリサーチセンター:名城大学・ナノファクトリー Faculty of Science and Technology, Meijo University:High-Tech Research Center, Meijo University:Nano Factory, Meijo University |
| 発表年月日 | 2003/9/25 |
| 資料番号 | ED2003-133,CPM2003-103,LQE2003-51 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 343 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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