講演名 | 2003/4/18 マイクロフォーカスX線CT技術と半導体検査への応用 開本 亮, 塩田 忠広, 岸 武人, 大西 修平, 枝廣 雅美, 亀川 正之, 浮田 昌昭, |
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抄録(和) | マイクロフォーカスX線CT装置は、半導体関連業界において、品質管理ツールとして,確固たるポジションを築きつつある。特に高密度実装の進展により、CT3次元データの重要性が高まっている.本論文では、従来のCT装置より高分解能で処理能力を飛躍的に向上させた最新のCT技術成果について示す。 |
抄録(英) | In the semiconductor related industries, micro focus x-ray computed tomographic systems are now being recognized as powerful quality control tools. Especially, the importance of three-dimensional non-destructive data is essential and indispensable to the technology progress of high-density LSI packaging. The latest systems with high resolution and high throughput will be shown in this paper. |
キーワード(和) | マイクロフォーカスX線 / X線トモグラフィ / 高密度実装半導体 / 3次元データ / 検査技術 |
キーワード(英) | Microfocus X-ray / X-ray Computed Tomography / High-density LSI / Three-dimensional non-destructive data / Inspection Technology |
資料番号 | RS2003-11,CPM2003-11,OPE2003-11 |
発行日 |
研究会情報 | |
研究会 | CPM |
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開催期間 | 2003/4/18(から1日開催) |
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講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | マイクロフォーカスX線CT技術と半導体検査への応用 |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | Microfocus X-ray CT analysis method and Its application for high-density LSI packaging |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | マイクロフォーカスX線 / Microfocus X-ray |
キーワード(2)(和/英) | X線トモグラフィ / X-ray Computed Tomography |
キーワード(3)(和/英) | 高密度実装半導体 / High-density LSI |
キーワード(4)(和/英) | 3次元データ / Three-dimensional non-destructive data |
キーワード(5)(和/英) | 検査技術 / Inspection Technology |
第 1 著者 氏名(和/英) | 開本 亮 / Akira HIRAKIMOTO |
第 1 著者 所属(和/英) | 株式会社島津製作所分析計測事業部NDIビジネスユニット NDI Business Unit, Shimadzu Corp. |
第 2 著者 氏名(和/英) | 塩田 忠広 / Tadahiro SHIOTA |
第 2 著者 所属(和/英) | 株式会社島津製作所分析計測事業部NDIビジネスユニット NDI Business Unit, Shimadzu Corp. |
第 3 著者 氏名(和/英) | 岸 武人 / Taketo KISHI |
第 3 著者 所属(和/英) | 株式会社島津製作所分析計測事業部NDIビジネスユニット NDI Business Unit, Shimadzu Corp. |
第 4 著者 氏名(和/英) | 大西 修平 / Masami |
第 4 著者 所属(和/英) | 株式会社島津製作所分析計測事業部NDIビジネスユニット NDI Business Unit, Shimadzu Corp. |
第 5 著者 氏名(和/英) | 枝廣 雅美 / Masami EDAHIRO |
第 5 著者 所属(和/英) | 株式会社島津製作所分析計測事業部NDIビジネスユニット NDI Business Unit, Shimadzu Corp. |
第 6 著者 氏名(和/英) | 亀川 正之 / Masayuki KAMEGAWA |
第 6 著者 所属(和/英) | 株式会社島津製作所分析計測事業部NDIビジネスユニット NDI Business Unit, Shimadzu Corp. |
第 7 著者 氏名(和/英) | 浮田 昌昭 / Masaaki UKITA |
第 7 著者 所属(和/英) | 株式会社島津製作所基盤技術研究所 Technology Research Laboratory, Shimadzu Corp. |
発表年月日 | 2003/4/18 |
資料番号 | RS2003-11,CPM2003-11,OPE2003-11 |
巻番号(vol) | vol.103 |
号番号(no) | 34 |
ページ範囲 | pp.- |
ページ数 | 4 |
発行日 |