講演名 2003/4/18
マイクロフォーカスX線CT技術と半導体検査への応用
開本 亮, 塩田 忠広, 岸 武人, 大西 修平, 枝廣 雅美, 亀川 正之, 浮田 昌昭,
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抄録(和) マイクロフォーカスX線CT装置は、半導体関連業界において、品質管理ツールとして,確固たるポジションを築きつつある。特に高密度実装の進展により、CT3次元データの重要性が高まっている.本論文では、従来のCT装置より高分解能で処理能力を飛躍的に向上させた最新のCT技術成果について示す。
抄録(英) In the semiconductor related industries, micro focus x-ray computed tomographic systems are now being recognized as powerful quality control tools. Especially, the importance of three-dimensional non-destructive data is essential and indispensable to the technology progress of high-density LSI packaging. The latest systems with high resolution and high throughput will be shown in this paper.
キーワード(和) マイクロフォーカスX線 / X線トモグラフィ / 高密度実装半導体 / 3次元データ / 検査技術
キーワード(英) Microfocus X-ray / X-ray Computed Tomography / High-density LSI / Three-dimensional non-destructive data / Inspection Technology
資料番号 RS2003-11,CPM2003-11,OPE2003-11
発行日

研究会情報
研究会 CPM
開催期間 2003/4/18(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Component Parts and Materials (CPM)
本文の言語 JPN
タイトル(和) マイクロフォーカスX線CT技術と半導体検査への応用
サブタイトル(和)
タイトル(英) Microfocus X-ray CT analysis method and Its application for high-density LSI packaging
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) マイクロフォーカスX線 / Microfocus X-ray
キーワード(2)(和/英) X線トモグラフィ / X-ray Computed Tomography
キーワード(3)(和/英) 高密度実装半導体 / High-density LSI
キーワード(4)(和/英) 3次元データ / Three-dimensional non-destructive data
キーワード(5)(和/英) 検査技術 / Inspection Technology
第 1 著者 氏名(和/英) 開本 亮 / Akira HIRAKIMOTO
第 1 著者 所属(和/英) 株式会社島津製作所分析計測事業部NDIビジネスユニット
NDI Business Unit, Shimadzu Corp.
第 2 著者 氏名(和/英) 塩田 忠広 / Tadahiro SHIOTA
第 2 著者 所属(和/英) 株式会社島津製作所分析計測事業部NDIビジネスユニット
NDI Business Unit, Shimadzu Corp.
第 3 著者 氏名(和/英) 岸 武人 / Taketo KISHI
第 3 著者 所属(和/英) 株式会社島津製作所分析計測事業部NDIビジネスユニット
NDI Business Unit, Shimadzu Corp.
第 4 著者 氏名(和/英) 大西 修平 / Masami
第 4 著者 所属(和/英) 株式会社島津製作所分析計測事業部NDIビジネスユニット
NDI Business Unit, Shimadzu Corp.
第 5 著者 氏名(和/英) 枝廣 雅美 / Masami EDAHIRO
第 5 著者 所属(和/英) 株式会社島津製作所分析計測事業部NDIビジネスユニット
NDI Business Unit, Shimadzu Corp.
第 6 著者 氏名(和/英) 亀川 正之 / Masayuki KAMEGAWA
第 6 著者 所属(和/英) 株式会社島津製作所分析計測事業部NDIビジネスユニット
NDI Business Unit, Shimadzu Corp.
第 7 著者 氏名(和/英) 浮田 昌昭 / Masaaki UKITA
第 7 著者 所属(和/英) 株式会社島津製作所基盤技術研究所
Technology Research Laboratory, Shimadzu Corp.
発表年月日 2003/4/18
資料番号 RS2003-11,CPM2003-11,OPE2003-11
巻番号(vol) vol.103
号番号(no) 34
ページ範囲 pp.-
ページ数 4
発行日