| 講演名 | 2003/4/18 次世代超高速O/Eパッケージのためのチップ上光配線 荒武 淳, 明吉 智幸, 徳光 雅美, |
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| 抄録(和) | 次世代の100Gbit/s級光ネットワーク構築に必要となる低コストパッケージ実現には、チップ上光配線技術が有望である。我々はOEICを作製後のウエハに光配線(WOW:Waveguide On processed Wafer)を後工程で作製する技術を開発した。光導波路材料としては、導波路プロセスが容易で様々な基板への適応が可能となるポリマーを用いた。単一走行キャリアフォトダイオード(UTC-PD)作製後に2つのタイプのチップ上光配線を作製し、その給光特性を評価した。また、チップ上光配線付きOEICのO/E特性をオンウエハ評価するための光プローブシステムを開発し、本構造に対する40Gbit/sのO/E変換特性を評価した。 |
| 抄録(英) | We have developed two types of monolithically-integrated polymeric optical interconnects on InP substrates with vertical-type uni-travelling-carrier photodiodes(UTC-PDs). We used simple and cost-effective polymeric optical waveguides as optical interconnects. Additionally, OE-probing system was developed for on-wafer measurement of optical devices. These techniques are promising ways to get cost-effective packages for future 100-Gbit/s class optical networks. |
| キーワード(和) | 光配線 / チップ上 / 100Gbit / s / ポリマー / OEIC |
| キーワード(英) | Optical interconnection / Within a chip / 100Gbit / s / polymer / OEIC |
| 資料番号 | RS2003-7,CPM2003-7,OPE2003-7 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2003/4/18(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 次世代超高速O/Eパッケージのためのチップ上光配線 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Optical Interconnection on IC Chips for Future Ultra-High Speed O/E Packages |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光配線 / Optical interconnection |
| キーワード(2)（和/英） | チップ上 / Within a chip |
| キーワード(3)（和/英） | 100Gbit / 100Gbit |
| キーワード(4)（和/英） | s / s |
| キーワード(5)（和/英） | ポリマー / polymer |
| キーワード(6)（和/英） | OEIC / OEIC |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 荒武 淳 / Atsushi ARATAKE |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所 NTT Photonics Laboratories, NTT Corporation |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 明吉 智幸 / Tomoyuki AKEYOSHI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所 NTT Photonics Laboratories, NTT Corporation |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 徳光 雅美 / Masami TOKUMITSU |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所 NTT Photonics Laboratories, NTT Corporation |
| 発表年月日 | 2003/4/18 |
| 資料番号 | RS2003-7,CPM2003-7,OPE2003-7 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 34 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |