講演名 | 2003/4/18 次世代超高速O/Eパッケージのためのチップ上光配線 荒武 淳, 明吉 智幸, 徳光 雅美, |
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抄録(和) | 次世代の100Gbit/s級光ネットワーク構築に必要となる低コストパッケージ実現には、チップ上光配線技術が有望である。我々はOEICを作製後のウエハに光配線(WOW:Waveguide On processed Wafer)を後工程で作製する技術を開発した。光導波路材料としては、導波路プロセスが容易で様々な基板への適応が可能となるポリマーを用いた。単一走行キャリアフォトダイオード(UTC-PD)作製後に2つのタイプのチップ上光配線を作製し、その給光特性を評価した。また、チップ上光配線付きOEICのO/E特性をオンウエハ評価するための光プローブシステムを開発し、本構造に対する40Gbit/sのO/E変換特性を評価した。 |
抄録(英) | We have developed two types of monolithically-integrated polymeric optical interconnects on InP substrates with vertical-type uni-travelling-carrier photodiodes(UTC-PDs). We used simple and cost-effective polymeric optical waveguides as optical interconnects. Additionally, OE-probing system was developed for on-wafer measurement of optical devices. These techniques are promising ways to get cost-effective packages for future 100-Gbit/s class optical networks. |
キーワード(和) | 光配線 / チップ上 / 100Gbit / s / ポリマー / OEIC |
キーワード(英) | Optical interconnection / Within a chip / 100Gbit / s / polymer / OEIC |
資料番号 | RS2003-7,CPM2003-7,OPE2003-7 |
発行日 |
研究会情報 | |
研究会 | CPM |
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開催期間 | 2003/4/18(から1日開催) |
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幹事補佐氏名(英) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | 次世代超高速O/Eパッケージのためのチップ上光配線 |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | Optical Interconnection on IC Chips for Future Ultra-High Speed O/E Packages |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | 光配線 / Optical interconnection |
キーワード(2)(和/英) | チップ上 / Within a chip |
キーワード(3)(和/英) | 100Gbit / 100Gbit |
キーワード(4)(和/英) | s / s |
キーワード(5)(和/英) | ポリマー / polymer |
キーワード(6)(和/英) | OEIC / OEIC |
第 1 著者 氏名(和/英) | 荒武 淳 / Atsushi ARATAKE |
第 1 著者 所属(和/英) | 日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所 NTT Photonics Laboratories, NTT Corporation |
第 2 著者 氏名(和/英) | 明吉 智幸 / Tomoyuki AKEYOSHI |
第 2 著者 所属(和/英) | 日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所 NTT Photonics Laboratories, NTT Corporation |
第 3 著者 氏名(和/英) | 徳光 雅美 / Masami TOKUMITSU |
第 3 著者 所属(和/英) | 日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所 NTT Photonics Laboratories, NTT Corporation |
発表年月日 | 2003/4/18 |
資料番号 | RS2003-7,CPM2003-7,OPE2003-7 |
巻番号(vol) | vol.103 |
号番号(no) | 34 |
ページ範囲 | pp.- |
ページ数 | 5 |
発行日 |