| 講演名 | 2003/4/18 折返しミラー光学系を用いた組立簡易3次元MEMS光スイッチ 赤司 保, 竹内 真一, 山本 毅, 森 和行, 上田 知史, 河合 正昭, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 小型かつ組立容易な3次元MEMS光スイッチを開発した。光スイッチ光学系を屋根型のミラーを用いて折返し構造とすることで、従来から提案されている平板型折返しミラーを用いた構造よりも光スイッチを小型化した。また、折返しミラーの実装トレランスの解析を行い、f-θレンズのビーム偏向の原理を応用した簡易アライメント手法によって、トレランスがパッシブ実装可能なまでに拡大でき、光スイッチの簡易組立が可能となることを示した。本手法により試作した光スイッチファブリックと、高速動作可能なMEMSミラーおよび制御回路により、小型、低損失、高速切替え80チャンネルMEMS光スイッチを実現した。 |
| 抄録(英) | We developed a compact and easy-to-fabricate 3D-MEMS optical switch fabric. By folding the optical system with a roof-type retroreflector, we made the switch fabric compact. We analyzed the alignment tolerance of the roof-type retroreflector, and showed that by applying the optical beam deflection method of "f-theta lens" to optical alignment, the tolerances were drastically increased. This technique allowed us to mount optical components passively, and the optical switch fabrication process was greatly simplified. Using this technique, we have succeeded in developing a compact, low-loss, and fast switching 80x80 3D-MEMS opticai switch. |
| キーワード(和) | 光スイッチ / 3次元MEMS / 折返しミラー / 実装 |
| キーワード(英) | Optical switch / 3D-MEMS / Retroreflector / Alignment |
| 資料番号 | RS2003-4,CPM2003-4,OPE2003-4 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
|---|---|
| 開催期間 | 2003/4/18(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 折返しミラー光学系を用いた組立簡易3次元MEMS光スイッチ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | 3 D-MEMS Optical Switch using Roof-type Retroreflector |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光スイッチ / Optical switch |
| キーワード(2)（和/英） | 3次元MEMS / 3D-MEMS |
| キーワード(3)（和/英） | 折返しミラー / Retroreflector |
| キーワード(4)（和/英） | 実装 / Alignment |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 赤司 保 / Tamotsu AKASHI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | (株)富士通研究所ネットワークシステム研究所 Network Systems Laboratory, Fujitsu Laboratories Ltd. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 竹内 真一 / Shinichi TAKEUCHI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | (株)富士通研究所ネットワークシステム研究所 Network Systems Laboratory, Fujitsu Laboratories Ltd. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 山本 毅 / Tsuyoshi YAMAMOTO |
| 第 3 著者 所属（和/英） | (株)富士通研究所ネットワークシステム研究所 Network Systems Laboratory, Fujitsu Laboratories Ltd. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 森 和行 / Kazuyuki MORI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | (株)富士通研究所ネットワークシステム研究所 Network Systems Laboratory, Fujitsu Laboratories Ltd. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 上田 知史 / Satoshi UEDA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | (株)富士通研究所ペリフェラルシステム研究所 Peripheral Systems Laboratory, Fujitsu Laboratories Ltd. |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 河合 正昭 / Masaaki KAWAI |
| 第 6 著者 所属（和/英） | (株)富士通研究所ネットワークシステム研究所 Network Systems Laboratory, Fujitsu Laboratories Ltd. |
| 発表年月日 | 2003/4/18 |
| 資料番号 | RS2003-4,CPM2003-4,OPE2003-4 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 34 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |