| 講演名 | 2003/8/21 MEMS光スイッチモジュール(光部品・電子デバイス実装技術, 一般) 山口 城治, 山本 剛, 清水 彰, 竹内 信行, 日暮 栄治, 澤田 廉士, 上西 祐司, |
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| 抄録(和) | 本稿ではMEMSミラーアレイと空間光学系により構成される3-D MEMS大規模光スイッチについて述べる。MEMSミラーは単結晶シリコンから構成されており、高アスペクト比のトーションバネにより2軸方向に回転可能になる様、支持されている。また立体テラス電極の導入により、従来の平板電極を用いる構成に比べて低電圧駆動を可能にしている。スイッチの入出力部を構成するコリメータアレイには、ポリマー成形部品と細径フェルールより成る光ファイバアレイ、およびポリマー製マイクロレンズアレイを用いており、高精度でありながら低コスト化を実現している。これまでに100入力、100出力構成の光スイッチを試作し、挿入損失4.0dB、スイッチング時間3msと良好な特性を確認している。 |
| 抄録(英) | A large-scale 3-D MEMS optical switch, consisting of MEMS two-axis tilt mirror array and free-space optics, is described. The MEMS tilt mirrors that constitute the array are made of single-crystal silicon supported by high-aspect-ratio torsion springs. The collimator arrays are comprised of optical fiber arrays and polymer microlens arrays; the optical fiber arrays consist of optical fibers with micro ferrules aligned in a polymer substrate having an array of precisely-aligned holes. The prototype module with 100ch optical fiber I/O has a low insertion loss of 4.0dB and a switching time of 3 ms. |
| キーワード(和) | 3-D MEMS / 光スイッチ / 光クロスコネクト / OXC |
| キーワード(英) | 3-D MEMS optical switch / OXC / Optical cross-connect |
| 資料番号 | EMD2003-27,CPM2003-72,OPE2003-109,LQE2003-28 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2003/8/21(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | MEMS光スイッチモジュール(光部品・電子デバイス実装技術, 一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | 3-D MEMS optical switch fabric |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 3-D MEMS / 3-D MEMS optical switch |
| キーワード(2)（和/英） | 光スイッチ / OXC |
| キーワード(3)（和/英） | 光クロスコネクト / Optical cross-connect |
| キーワード(4)（和/英） | OXC |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 山口 城治 / Joji YAMAGUCHI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 日本電信電話(株)NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, Nippon Telegraph and Telephone Corp. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 山本 剛 / Tsuyoshi YAMAMOTO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 日本電信電話(株)NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, Nippon Telegraph and Telephone Corp. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 清水 彰 / Akira SHIMIZU |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 日本電信電話(株)NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, Nippon Telegraph and Telephone Corp. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 竹内 信行 / Nobuyuki TAKEUCHI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 日本電信電話(株)NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, Nippon Telegraph and Telephone Corp. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 日暮 栄治 / Eiji HIGURASHI |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 日本電信電話(株)NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, Nippon Telegraph and Telephone Corp. |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 澤田 廉士 / Renshi SAWADA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 日本電信電話(株)NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, Nippon Telegraph and Telephone Corp. |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 上西 祐司 / Yuji UENISHI |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 日本電信電話(株)NTTマイクロシステムインテグレーション研究所 NTT Microsystem Integration Laboratories, Nippon Telegraph and Telephone Corp. |
| 発表年月日 | 2003/8/21 |
| 資料番号 | EMD2003-27,CPM2003-72,OPE2003-109,LQE2003-28 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 269 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |