| 講演名 | 2002/11/6 反応性スパッタリングによるアナターゼ光触媒薄膜形成におけるスパッタガス圧の影響 成岡 友彦, 百瀬 智明, 番場 教子, 深海 龍夫, |
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| 抄録(和) | 光触媒効果を示す二酸化チタンは、薄膜の形で用いるのが利用しやすい。本研究ではスパッタ法によって、様々なガス圧力でアナターゼ型二酸化チタン薄膜を作製し、その光触媒効果を検証した。ガス圧力の違いにより膜の構造が変化し、その光触媒効果にも大きな差が出ることが確認された。また、XPSによる元素存在比の測定から、光触媒効果と酸素空位との間に密接な関係があり、酸素空位がドナーとして働くため、ドナー濃度が多いほど光触媒効果が活性になることがわかった。ドナー濃度を増加させるため、Nbをドープした試料では、黄色に着色しており、その透過スペクトルから可視光域の吸収が見られ、可視光応答性を示す可能性が示唆された。 |
| 抄録(英) | Thin anatase films were successfully sputter deposited on a glass substrate at temperatures as low as 200℃. Photocatalytic activities, evaluated through the decomposition of acetic acid under UV irradiation, showed a strong dependence on oxygen pressure during sputtering and were found to have a close relationship with the oxygen vacancy concentration in the films. Nb doped anatase films was slightly yellow-colored and their transmittance spectrum showed the absorption of light in visible region, suggesting some possibilities to work under visible light irradiation. |
| キーワード(和) | 光触媒効果 / アナターゼ型二酸化チタン / スパッタリング / ガス圧力 / 酸素空位 / Nbドープ |
| キーワード(英) | Photocatalysis / anatase / sputtering / oxygen pressure / oxygen vacancy / Nb doped |
| 資料番号 | CPM2002-118 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2002/11/6(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 反応性スパッタリングによるアナターゼ光触媒薄膜形成におけるスパッタガス圧の影響 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Effect of Oxygen Pressure on Photocatalytic Phenomena in Reactive Sputter Deposited Anatase Films |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光触媒効果 / Photocatalysis |
| キーワード(2)（和/英） | アナターゼ型二酸化チタン / anatase |
| キーワード(3)（和/英） | スパッタリング / sputtering |
| キーワード(4)（和/英） | ガス圧力 / oxygen pressure |
| キーワード(5)（和/英） | 酸素空位 / oxygen vacancy |
| キーワード(6)（和/英） | Nbドープ / Nb doped |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 成岡 友彦 / Tomohiko NARUOKA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Faculty of Engineering, Shinshu University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 百瀬 智明 / Tomoaki MOMOSE |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Faculty of Engineering, Shinshu University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 番場 教子 / Noriko BAMBA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Faculty of Engineering, Shinshu University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 深海 龍夫 / Tatsuo FUKAMI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Faculty of Engineering, Shinshu University |
| 発表年月日 | 2002/11/6 |
| 資料番号 | CPM2002-118 |
| 巻番号（vol） | vol.102 |
| 号番号（no） | 434 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |