講演名 | 2002/11/6 反応性スパッタリングによるアナターゼ光触媒薄膜形成におけるスパッタガス圧の影響 成岡 友彦, 百瀬 智明, 番場 教子, 深海 龍夫, |
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抄録(和) | 光触媒効果を示す二酸化チタンは、薄膜の形で用いるのが利用しやすい。本研究ではスパッタ法によって、様々なガス圧力でアナターゼ型二酸化チタン薄膜を作製し、その光触媒効果を検証した。ガス圧力の違いにより膜の構造が変化し、その光触媒効果にも大きな差が出ることが確認された。また、XPSによる元素存在比の測定から、光触媒効果と酸素空位との間に密接な関係があり、酸素空位がドナーとして働くため、ドナー濃度が多いほど光触媒効果が活性になることがわかった。ドナー濃度を増加させるため、Nbをドープした試料では、黄色に着色しており、その透過スペクトルから可視光域の吸収が見られ、可視光応答性を示す可能性が示唆された。 |
抄録(英) | Thin anatase films were successfully sputter deposited on a glass substrate at temperatures as low as 200℃. Photocatalytic activities, evaluated through the decomposition of acetic acid under UV irradiation, showed a strong dependence on oxygen pressure during sputtering and were found to have a close relationship with the oxygen vacancy concentration in the films. Nb doped anatase films was slightly yellow-colored and their transmittance spectrum showed the absorption of light in visible region, suggesting some possibilities to work under visible light irradiation. |
キーワード(和) | 光触媒効果 / アナターゼ型二酸化チタン / スパッタリング / ガス圧力 / 酸素空位 / Nbドープ |
キーワード(英) | Photocatalysis / anatase / sputtering / oxygen pressure / oxygen vacancy / Nb doped |
資料番号 | CPM2002-118 |
発行日 |
研究会情報 | |
研究会 | CPM |
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開催期間 | 2002/11/6(から1日開催) |
開催地(和) | |
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幹事補佐氏名(英) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Component Parts and Materials (CPM) |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | 反応性スパッタリングによるアナターゼ光触媒薄膜形成におけるスパッタガス圧の影響 |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | Effect of Oxygen Pressure on Photocatalytic Phenomena in Reactive Sputter Deposited Anatase Films |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | 光触媒効果 / Photocatalysis |
キーワード(2)(和/英) | アナターゼ型二酸化チタン / anatase |
キーワード(3)(和/英) | スパッタリング / sputtering |
キーワード(4)(和/英) | ガス圧力 / oxygen pressure |
キーワード(5)(和/英) | 酸素空位 / oxygen vacancy |
キーワード(6)(和/英) | Nbドープ / Nb doped |
第 1 著者 氏名(和/英) | 成岡 友彦 / Tomohiko NARUOKA |
第 1 著者 所属(和/英) | 信州大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Faculty of Engineering, Shinshu University |
第 2 著者 氏名(和/英) | 百瀬 智明 / Tomoaki MOMOSE |
第 2 著者 所属(和/英) | 信州大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Faculty of Engineering, Shinshu University |
第 3 著者 氏名(和/英) | 番場 教子 / Noriko BAMBA |
第 3 著者 所属(和/英) | 信州大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Faculty of Engineering, Shinshu University |
第 4 著者 氏名(和/英) | 深海 龍夫 / Tatsuo FUKAMI |
第 4 著者 所属(和/英) | 信州大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Faculty of Engineering, Shinshu University |
発表年月日 | 2002/11/6 |
資料番号 | CPM2002-118 |
巻番号(vol) | vol.102 |
号番号(no) | 434 |
ページ範囲 | pp.- |
ページ数 | 6 |
発行日 |