| 講演名 | 2004/7/15 弾性波ガスセンサ応答波形解析とセンサ特性評価に関する研究 齋藤 敦史, 石川 美由紀, 野村 徹, |
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| 抄録(和) | 本報告では、弾性波ガスセンサの応答特性評価法について述べる。本法では、センサの応答波形をLangmuir吸着理論に基づいて解析する。解析の結果得られる幾つかのパラメータ値によって、センサの応答特性(感応膜のガス分子吸着特性)を数値表現するものである。解析によって得られるパラメータは、センサ表面におけるガス分子吸着サイト数、およびガス分子-感応膜間の分子間相互作用力を反映する値である。これらのパラメータ値を用いて感応膜を評価すれば、測定対象ガスに対して有効な感応膜を選択が容易になる。本方法によって実際のセンサ応答特性を評価したところ、ガス分子の物理的・化学的性質と感応膜材料の影響を反映したパラメータが得られることが確認された。 |
| 抄録(英) | In this report, a efective response characteristics evaluation method of acoustic wave gas sensors is described. In this method, response curves of sensors are analyzed based on the Langmuir adsorption theory. The response characteristics of a sensor (gas molecular adsorption character of a sensing film) are expressed by some parameter values obtained as a result of the analysis. We evaluated measured sensor responses by the method. As a result of the analysis, it was confirmed to obtain the parameter which reflected physical and chemical property of gas molecules and the influence of the sensing film material. |
| キーワード(和) | ガスセンサ / 水晶振動子 / 応答波形解析 / Langmuir吸着理論 / 応答特性評価 |
| キーワード(英) | Gas sensor / Quartz resonator / Response curve analysis / Langmuir theory / Evaluation of response feature |
| 資料番号 | US2004-29 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 2004/7/15(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 弾性波ガスセンサ応答波形解析とセンサ特性評価に関する研究 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Study on Gas Adsorption Property Evaluation of Sensing Film for QCM Gas Sensor by Sensor Response Analysis |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ガスセンサ / Gas sensor |
| キーワード(2)（和/英） | 水晶振動子 / Quartz resonator |
| キーワード(3)（和/英） | 応答波形解析 / Response curve analysis |
| キーワード(4)（和/英） | Langmuir吸着理論 / Langmuir theory |
| キーワード(5)（和/英） | 応答特性評価 / Evaluation of response feature |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 齋藤 敦史 / Atsushi Saitoh |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学工学部 Faculty of Engineering, Shibaura Inst. of Tech. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 石川 美由紀 / Miyuki Ishikawa |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学工学部 Faculty of Engineering, Shibaura Inst. of Tech. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 野村 徹 / Toru Nomura |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学工学部 Faculty of Engineering, Shibaura Inst. of Tech. |
| 発表年月日 | 2004/7/15 |
| 資料番号 | US2004-29 |
| 巻番号（vol） | vol.104 |
| 号番号（no） | 213 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |