講演名 2004/7/15
ダブルモード型SAWフィルタの不要波モードの観察と低損失化に関する考察
芝 隆司, 大澤 眞一郎, 浜崎 淳一, 藤田 勇次, 千葉 孝雄,
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抄録(和) レーザプローブ法を用いて、42° Y-X LiTaO_3基板上に伝搬するリーキ一波の観察を行った。構造はダブルモード共振器型SAWフィルタ構造を選んだ。通常のダブルモード共振器型構造では、バスバー端に沿って主伝搬路にほぼ平行に伝搬する不要波と、主伝搬路に対して斜め約40°方向に放射される不要波を観測した。我々は、バスバー端の外側に音速の遅いグレーティング領域を形成し、上記の主伝搬路にほぼ平行に伝搬する不要波が抑圧できる事を上記観測法にて確認し、さらに、EGSM用フィルタに本構造を適用する事により、より低損失な特性が得られる事を確認した。また上記グレーティングバスバーの開口の最適条件を実験的に見いだした。
抄録(英) The double mode IDTs structure on 42deg.Y-X LiTaO3 is selected as our experiment for low loss EGSM filter. We have observed Leaky-SAW radiation pattern at first. SAW radiation patterns are obtained using a heterodyne interferometer-type laser probe method. Two spurious radiation modes are observed in the conventional double-mode structure. First mode wave is traveling toward the almost same direction of the main SAW response on bus-bar edge. Second mode wave is traveling toward the direction 40deg. angle rotated from the main SAW direction. We success to suppress the first sourious mode by using grating structure which reduces the SAW velocity on edge of bus-bar. The first sourious mode wave is not observed and low loss frequency characteristics are measured in new IDT structure. The aperture of grating structure is optimized by testing the various parameters of the structure. Consequently, loss of the filter is improved by the new wave-guide structure.
キーワード(和) SAW / 弾性表面波 / ダブルモード共振器構造 / 導波路 / SAWの観察
キーワード(英) SAW / Surface Acoustic Wave / Double-Mode / Wave-guide / Observation of SAW
資料番号 US2004-24
発行日

研究会情報
研究会 US
開催期間 2004/7/15(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Ultrasonics (US)
本文の言語 JPN
タイトル(和) ダブルモード型SAWフィルタの不要波モードの観察と低損失化に関する考察
サブタイトル(和)
タイトル(英) Observation and Supression of Spurious Wave for DMS SAW Filter
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) SAW / SAW
キーワード(2)(和/英) 弾性表面波 / Surface Acoustic Wave
キーワード(3)(和/英) ダブルモード共振器構造 / Double-Mode
キーワード(4)(和/英) 導波路 / Wave-guide
キーワード(5)(和/英) SAWの観察 / Observation of SAW
第 1 著者 氏名(和/英) 芝 隆司 / Takashi SHIBA
第 1 著者 所属(和/英) 株)日立メディアエレクトロニクス
Hitachi Media Electronics Co., Ltd.
第 2 著者 氏名(和/英) 大澤 眞一郎 / Shinichiro OSAWA
第 2 著者 所属(和/英) 株)日立メディアエレクトロニクス
Hitachi Media Electronics Co., Ltd.
第 3 著者 氏名(和/英) 浜崎 淳一 / Junichi HAMASAKI
第 3 著者 所属(和/英) 株)日立メディアエレクトロニクス
Hitachi Media Electronics Co., Ltd.
第 4 著者 氏名(和/英) 藤田 勇次 / Yuji FUJITA
第 4 著者 所属(和/英) 株)日立メディアエレクトロニクス
Hitachi Media Electronics Co., Ltd.
第 5 著者 氏名(和/英) 千葉 孝雄 / Takao CHIBA
第 5 著者 所属(和/英) 明星大学理工学部
Meisei University, Physical Sciences and Engineerin
発表年月日 2004/7/15
資料番号 US2004-24
巻番号(vol) vol.104
号番号(no) 213
ページ範囲 pp.-
ページ数 4
発行日