| 講演名 | 2003/5/21 LFB超音波材料解析システムによる量産された市販LiTaO_3単結晶の評価(一般及び非線形音響) 櫛引 淳一, 大橋 雄二, 望月 正実, |
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| 抄録(和) | 最大60チャージの結晶量産を行なっている一製造業者のSAWデバイス用LiTaO_3単結晶製造ラインの評価にLFB超音波材料解析システムを適用した。育成炉に関係なくランダムに抽出した21枚の36°yy-LiTaO_3ウェハ、および一育成炉で連続的に育成した39インゴットのうちの5インゴットから抽出した14枚の42°YX-LiTaO_3ウェハに対するRayleighタイプ漏洩弾性表面波(LSAW)速度(V_ |
| 抄録(英) | A mass-production line of LiTaO_3 crystals with a maximum charge number of 60 for SAW devices was evaluated with the line-focus-beam (LFB) ultrasonic material characterization system. Some serious problems associated with chemical compositions were observed and resolved by measuring the velocities of Rayleigh-type leaky surface acoustic waves (LSAWs), V_ |
| キーワード(和) | LFB超音波材料解析システム / 漏洩弾性表面波速度 / 化学組成評価 / LiTaO_3 / コングルエント組成 / キュリー温度 |
| キーワード(英) | LFB ultrasonic material characterization system / leaky surface acoustic wave velocity / chemical composition evaluation / LiTaO_3 / Congruent composition / Curie temperature |
| 資料番号 | US2003-14 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 2003/5/21(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | LFB超音波材料解析システムによる量産された市販LiTaO_3単結晶の評価(一般及び非線形音響) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | LFB超音波材料解析システム / LFB ultrasonic material characterization system |
| キーワード(2)（和/英） | 漏洩弾性表面波速度 / leaky surface acoustic wave velocity |
| キーワード(3)（和/英） | 化学組成評価 / chemical composition evaluation |
| キーワード(4)（和/英） | LiTaO_3 / LiTaO_3 |
| キーワード(5)（和/英） | コングルエント組成 / Congruent composition |
| キーワード(6)（和/英） | キュリー温度 / Curie temperature |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 櫛引 淳一 / Jun-ichi KUSHIBIKI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 大橋 雄二 / Yuji OHASHI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 望月 正実 / Masami MOCHIZUKI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | (株)コイケ Koike Co. |
| 発表年月日 | 2003/5/21 |
| 資料番号 | US2003-14 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 87 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |