| 講演名 | 2002/12/9 微小駆動時における弾性表面波モータのメカニクス 重松 隆史, 黒澤 実, 浅井 勝彦, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 弾性表面波モータの,100nm以下の範囲でのステップ駆動時における機械的動作を測定し,検討を行った.微小駆動時には,可動部中の弾性変形が機械的な出力に大きな影響を与える.実際,対象系の可動部は弾性変形要素により,2自由度振動系として振る舞っていた.弾性変形要素を考慮した可動部の物理モデリングを行い,測定結果に対しFFT解析,振動減衰へのフィッティングを行うことで,モデル中のパラメータ値を同定した.同定したモデルを用いてシミュレーションを行い,測定結果と比較し,全般的な傾向を再現できたことを確認した.しかしながら高精度のモデリングのためには,非線形要素を考慮する必要性があることも同時に示された. |
| 抄録(英) | A mechanical model of a surface acoustic wave (SAW) motor's stepping motions ranging under 100 nanometers was constructed. The SAW motor had a compliance structure in its movable part to utilize nanometer vibration of SAW for friction drive. The compliance, however, resulted in the two-degree-of-freedom vibration behavior of the movable part. Based on the mechanical model, the system identification was carried out by means of FFT analyses and decay fittings to experimental data. The simulation with the identified model qualitatively represented the experimental results. For more accurate simulations, additional nonlinear effects should be implied to the model. |
| キーワード(和) | 超音波モータ / リニアモータ / 弾性表面波 / ステップ駆動 / ナノモーション / モデリング / 同定 |
| キーワード(英) | Ultrasonic Motors / Linear Motors / Surface Acoustic Wave / Stepping Motion / Nano Motion / Modeling / Identification |
| 資料番号 | US2002-80 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
|---|---|
| 開催期間 | 2002/12/9(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 微小駆動時における弾性表面波モータのメカニクス |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 超音波モータ / Ultrasonic Motors |
| キーワード(2)（和/英） | リニアモータ / Linear Motors |
| キーワード(3)（和/英） | 弾性表面波 / Surface Acoustic Wave |
| キーワード(4)（和/英） | ステップ駆動 / Stepping Motion |
| キーワード(5)（和/英） | ナノモーション / Nano Motion |
| キーワード(6)（和/英） | モデリング / Modeling |
| キーワード(7)（和/英） | 同定 / Identification |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 重松 隆史 / Takashi SHIGEMATSU |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京工業大学電子機能システム Tokyo Institute of Technology, Department of Advanced Applied Electronics. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 黒澤 実 / Minoru K. KUROSAWA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京工業大学電子機能システム Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Advanced Technology Research Laboratories. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 浅井 勝彦 / Katsuhiko ASAI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 松下電器産業株式会社先端技術研究所 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Advanced Technology Research Laboratories. |
| 発表年月日 | 2002/12/9 |
| 資料番号 | US2002-80 |
| 巻番号（vol） | vol.102 |
| 号番号（no） | 510 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |