| 講演名 | 2002/12/9 弾性リッジ導波路を用いた超音波リニアモータの試作 神長 龍太, Friend James R., 中村 健太郎, 上羽 貞行, |
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| 抄録(和) | 光通信用MEMSデバイス等に適用できる可動距離の大きなリニアアクチュエータとして弾性リッジ導波路を用いたマイクロ超音波リニアモータを提案した.基板上の細長い突起に沿って伝搬するリッジモード弾性波は楕円振動軌跡を伴うため,これによりスライダを摩擦駆動する.本報では,提案する原理確認のためにアクリル樹脂を用いて,幅W=5mm,高さH=15mm,ストローク1000mmの弾性リッジ導波路を試作した.その振動特性の実験的検討結果に基づきリン青銅板を用いてスライダを製作し,モータ動作の確認を行った.スライダの移動速度は約33mm/sであった. |
| 抄録(英) | We propose an ultrasonic linear micromotor using a ridge waveguide as a long microactuator that can be installed in MEMS devices for optical communication. Waves propagate ultrasonically along a rectangular projection from a flat substrate. At points along the waveguide, the vibration motion is elliptical in form, which can drive a slider placed on the waveguide through friction. To examine the proposed theory, we produced a large version, an acrylic ridge waveguide 5×15×1000 mm in size. We experimentally examined its vibration characteristics, produced an actuator using a small phosphor bronze slider based on the experimental vibration results, and demonstrated its motion. The moving velocity of the slider was about 33 mm/s. |
| キーワード(和) | リッジ導波路 / 超音波リニアモータ / 進行波型超音波モータ / 光MEMS |
| キーワード(英) | Ridge waveguide / Ultrasonic linear motor / Traveling wave ultrasonic motor / Optical MEMS |
| 資料番号 | US2002-78 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 2002/12/9(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 弾性リッジ導波路を用いた超音波リニアモータの試作 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A Prototype Ultrasonic Linear Motor Using an Elastic Ridge Waveguide |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | リッジ導波路 / Ridge waveguide |
| キーワード(2)（和/英） | 超音波リニアモータ / Ultrasonic linear motor |
| キーワード(3)（和/英） | 進行波型超音波モータ / Traveling wave ultrasonic motor |
| キーワード(4)（和/英） | 光MEMS / Optical MEMS |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 神長 龍太 / Ryuta KAMINAGA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京工業大学精密工学研究所 Precision & Intelligence Laboratory, Tokyo Institsute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | Friend James R. / James R. FRIEND |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京工業大学精密工学研究所 Precision & Intelligence Laboratory, Tokyo Institsute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 中村 健太郎 / Kentaro NAKAMURA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東京工業大学精密工学研究所 Precision & Intelligence Laboratory, Tokyo Institsute of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 上羽 貞行 / Sadayuki UEHA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東京工業大学精密工学研究所 Precision & Intelligence Laboratory, Tokyo Institsute of Technology |
| 発表年月日 | 2002/12/9 |
| 資料番号 | US2002-78 |
| 巻番号（vol） | vol.102 |
| 号番号（no） | 510 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |