| 講演名 | 2002/11/22 弾性表面波デバイスの表面波回折効果の光学測定結果と数値解析結果との比較 千葉 孝雄, 阿部 幹, |
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| 抄録(和) | 128° Y-X LiNbO3基板上の一様電極からの表面波の回折効果の光学測定結果とY-Z LiNbO3基板上の分散形遅延線のchirp IDTからの表面波の回折効果の光学測定結果を,パラボリック異方性近似によるフレネル積分を用いたシミュレーション結果と比較した.その結果,Kovacs等または櫛引等の材料定数より求めた異方性パラメータを用いると実験結果とよく一致し,また分散形遅延線のchirp IDTからの左右非対称の表面波ビームの回折現象もよく説明できることが判った. |
| 抄録(英) | The optical measurement results of the diffraction effect of the surface wave from uniform IDT on 128° Y-X LiNbO3 substrate and from chirp IDT in the dispersive delay line on Y-Z LiNbO3 substrate are compared with the simulation results of using the Fresnel integration by the parabolic anisotropy approximation. As the results, it has been shown that the simulation results are corresponding to the experiment results well when the anisotropic parameter calculated from the material constants of G. Kovacs et al or J. Kushibiki et al is used, and also explain well the asymmetrical diffraction effect of the surface wave excited from chirp IDT toward right and left direction in the dispersion delay line. |
| キーワード(和) | 弾性表面波デバイス / 超音波の光学検出 / 回折効果 |
| キーワード(英) | SAW Device / Optical Probing / Diffraction Effect |
| 資料番号 | SAW2002-72 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 2002/11/22(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 弾性表面波デバイスの表面波回折効果の光学測定結果と数値解析結果との比較 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Comparison between Optical Measurement and Numerical Analysis of Diffraction Effect of Surface Wave on SAW Devices |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 弾性表面波デバイス / SAW Device |
| キーワード(2)（和/英） | 超音波の光学検出 / Optical Probing |
| キーワード(3)（和/英） | 回折効果 / Diffraction Effect |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 千葉 孝雄 / Takao CHIBA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 明星大学 理工学部 電気工学科 Faculty of Physical Sciences and Engineering, Meisei University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 阿部 幹 / Motoki ABE |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 明星大学 理工学部 電気工学科 Faculty of Physical Sciences and Engineering, Meisei University |
| 発表年月日 | 2002/11/22 |
| 資料番号 | SAW2002-72 |
| 巻番号（vol） | vol.102 |
| 号番号（no） | 486 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |