| 講演名 | 2002/11/22 等方性膜/圧電結晶構造を伝搬する横波型弾性波を用いた高感度化学センサの研究 近藤 淳, 塩川 祥子, |
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| 抄録(和) | 弾性波素子のセンサ応用の中で,最も活発に研究がなされまた期待されているのが質量負荷効果を検出原理とするセンサである.弾性波センサの質量負荷に対するセンサ感度は,動作周波数に強く依存し,周波数が高いほど高感度となる.しかし,センサにとって不要なノイズも周波数に比例する.このため,なるべく低い周波数で高感度センサを実現することは重要である.本研究では,液体/等方性膜/圧電結晶構造を伝搬する横波型弾性波に着目し,この波を用いたセンサの可能性を調べるため数値解析を行った.その結果,等方性膜上で生じる質量負荷効果は,等方性膜の膜厚に大きく依存することが分かった.すなわち,等方性膜の膜厚を制御することにより,高感度質量センサが実現可能であることが明らかになった. |
| 抄録(英) | Realization of a high sensitive immunosensor based on the mass loading effect is important application of acoustic wave based sensors. As the sensitivity of the mass loading effect is directly proportional to the operating frequency of the acoustic wave sensors, the high frequency device can work as the high sensitive sensor. The noise, however, is also proportional to it. Therefore, it is necessary to develop high sensitive mass sensor at low operating frequency. In this paper, we report the numerical calculation results of a shear horizontal mode acoustic wave in an isotropic film/piezoelectric substrate structure for the high sensitive mass sensor. The results show that the mass sensitivity is a function of layer thickness on a piezoelectric substrate. In other word, the high sensitive mass sensor is realized with optimum thickness of the layer. |
| キーワード(和) | 横波型弾性波センサ / 層構造体 / 質量負荷効果 / 質量センサ / 免疫センサ |
| キーワード(英) | shear horizontal acoustic wave / layered structure / mass loading effect / mass sensor / immunosensor |
| 資料番号 | SAW2002-70 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 2002/11/22(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 等方性膜/圧電結晶構造を伝搬する横波型弾性波を用いた高感度化学センサの研究 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Study of High Sensitive Chemical Sensor Based on Shear Horizontal Acoustic Waves in Isotropic Film/Piezoelectric Substrate Structures |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 横波型弾性波センサ / shear horizontal acoustic wave |
| キーワード(2)（和/英） | 層構造体 / layered structure |
| キーワード(3)（和/英） | 質量負荷効果 / mass loading effect |
| キーワード(4)（和/英） | 質量センサ / mass sensor |
| キーワード(5)（和/英） | 免疫センサ / immunosensor |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 近藤 淳 / Jun KONDOH |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 塩川 祥子 / Showko SHIOKAWA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部 Faculty of Engineering, Shizuoka University |
| 発表年月日 | 2002/11/22 |
| 資料番号 | SAW2002-70 |
| 巻番号（vol） | vol.102 |
| 号番号（no） | 486 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |