| 講演名 | 2004/1/16 スピンコート法によるYBCO薄膜の作製と評価2(デバイス・一般) 松本 智之, 田邉 泰寛, 齊藤 敦, 向田 昌志, 大嶋 重利, |
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| 抄録(和) | フッ素フリーの塗布液を用いて、スピンコート法によってCeO_2をバッファー層とするR面サファイア基板上にYBa_2Cu_3O_<7-δ>(YBCO)薄膜の作製を行った。その結果、YBCO薄膜はc軸配向を示し、面内には4回対称を示した。その時、800℃でバッファー層のアニールを行い、表面の平滑化をすることによって、YBCO薄膜のc軸方向の揺らぎδωの向上が見られた。また、面内配向性は本焼時の昇温レートに依存することが分かった。この面内配向がより良くなる昇温レートは、((1)室温から650℃まで200℃/min(2)650℃から760℃まで40℃/min)である。また、超伝導転移温度Tcは89Kを示した。 |
| 抄録(英) | YBa_2Cu_3O_<7-δ>(YBCO) thin films were prepared on CeO_2 buffered r-plane sapphire substrate by spin-coating process using fluorine-free solution. YBCO films showed c-axis orientation and in-plane 4-fold symmetry. The c-axis dispersion δω of YBCO films were smaller prepared on the substrate with smooth surface morphology annealed at 800℃. In-plane orientation of YBCO films was depended on the heating condition. The condition are as follows: (1) from room temperature to 650℃; heating rate of 200℃/min; (2) from 650℃ to 760℃; heating rate of 40℃/min. The Tc of YBCO films was 89K. |
| キーワード(和) | フッ素フリー / スピンコート / アニール / 昇温レート |
| キーワード(英) | fluorine-free / spin-coating / anneal / heating rate |
| 資料番号 | SCE2003-30 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
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| 開催期間 | 2004/1/16(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Superconductive Electronics (SCE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | スピンコート法によるYBCO薄膜の作製と評価2(デバイス・一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Preparation and evaluation of YBCO thin films by spin-coating process 2 |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | フッ素フリー / fluorine-free |
| キーワード(2)（和/英） | スピンコート / spin-coating |
| キーワード(3)（和/英） | アニール / anneal |
| キーワード(4)（和/英） | 昇温レート / heating rate |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 松本 智之 / Tomoyuki MATSUMOTO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 山形大学工学部 Faculty Engineering, Yamagata University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 田邉 泰寛 / Yasuhiro TANABE |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 山形大学工学部 Faculty Engineering, Yamagata University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 齊藤 敦 / Atsushi SAITO |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 山形大学工学部 Faculty Engineering, Yamagata University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 向田 昌志 / Masashi MUKAIDA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 山形大学工学部 Faculty Engineering, Yamagata University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 大嶋 重利 / Shigetoshi OHSHMA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 山形大学工学部 Faculty Engineering, Yamagata University |
| 発表年月日 | 2004/1/16 |
| 資料番号 | SCE2003-30 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 592 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |