| 講演名 | 2003/10/10 高温超伝導体フィルタ用薄膜の作製と評価(エレクトロニクス) 安達 学人, 白川 政信, 竹澤 基範, 相田 史裕, 齊藤 敦, 向田 昌志, 大嶋 重利, |
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| 抄録(和) | r, c, a面サファイア基板上にYBCO/Ce0_2薄膜の作製を行い、結晶性及び電気特性の比較を行った。a面サファイア基板上のYBCO薄膜はc軸配向を示し、臨界温度T_cはr面サファイア基板を用いたときとほぼ同じ88.6 Kを示した。ECRドライエッチング装置でのエッチング特性を調べ、20 mmφでのエッチングレートのばらつきが4.3%以内の均-一性を得た。3段、5段チェビシェフ型フィルタを用いたデュプレクサの設計を行った。フィルタを多段化することによって、フィルタのより急峻なスカート特性が得られ、デュプレクサの分配性能が向上することがシミュレーションにより確認された。 |
| 抄録(英) | YBa_2Cu_3O_y(YBCO)/CeO_2 thin films were deposited on r-, c-, and a-plane sapphire substrates(r-, c-, a-AI_2O_3). The YBCO films on the a-AI_2O_3 showed c-axis orientation and a critical temperature T_c of 88.6 K which is nearly the same as that on the r-AI_2O_3. Etching characteristics of the YBCO thin films by an ECR etching system were investigated. The etching rate on the area of 20 mm in diameter was approximately uniform, and its difference of the rate was below 4.3 %. Duplexer was designed using 3- and 5-pole Chebychev-type band pass filter (BPF). Sharper skirt characteristic and better duplexer distribute-function could be got as increased the pole of Chebychev-type BPF, through simulations. |
| キーワード(和) | a面サファイア / c面サファイア / ECRドライエッチング / デュプレクサ / チェビシェフ型フィルタ |
| キーワード(英) | a-Ai_2O_3 / c-AI_2O_3 / ECR etching / superconducting duplexer / Chebychev-type filter |
| 資料番号 | SCE2003-23 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
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| 開催期間 | 2003/10/10(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Superconductive Electronics (SCE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 高温超伝導体フィルタ用薄膜の作製と評価(エレクトロニクス) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication and evaluation of high temperature superconducting thin films foi filter applications |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | a面サファイア / a-Ai_2O_3 |
| キーワード(2)（和/英） | c面サファイア / c-AI_2O_3 |
| キーワード(3)（和/英） | ECRドライエッチング / ECR etching |
| キーワード(4)（和/英） | デュプレクサ / superconducting duplexer |
| キーワード(5)（和/英） | チェビシェフ型フィルタ / Chebychev-type filter |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 安達 学人 / Michito ADACHI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 山形大学工学部 Faculty of Engineering, Yamagata University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 白川 政信 / Masanobu SHIRAKAWA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 山形大学工学部 Faculty of Engineering, Yamagata University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 竹澤 基範 / Motonori TAKEZAWA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 山形大学工学部 Faculty of Engineering, Yamagata University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 相田 史裕 / Hirofumi AITA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 山形大学工学部 Faculty of Engineering, Yamagata University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 齊藤 敦 / Atsushi SAITO |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 山形大学工学部 Faculty of Engineering, Yamagata University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 向田 昌志 / Masashi MUKAIDA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 山形大学工学部 Faculty of Engineering, Yamagata University |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 大嶋 重利 / Shigetoshi OHSHIMA |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 山形大学工学部 Faculty of Engineering, Yamagata University |
| 発表年月日 | 2003/10/10 |
| 資料番号 | SCE2003-23 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 367 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 7 |
| 発行日 | |