| 講演名 | 2003/4/16 CeO_2を中間層にしたMgO基板上におけるTFA-MOD YBCO 薄膜の臨界電流と22GHz表面抵抗(マイクロ波超伝導/一般) 鈴木 克己, 瀧 謙司, 荒木 猛司, 山下 大介, 平林 泉, 榎本 陽一, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | MgO基板の上にスピン塗布法のTrif1uoroacetate -metalorganic deposition (TFA-MOD法)により形成されたYBa_2Cu_3O_7-δ(YBCO)薄膜高周波回路特性評価を行った。TFA-MOD・YBCO 薄膜をMgO基板に直接成膜することはできず,中間層としてCeO_2膜を用いる必要がある(2HF+MgO -> H_2O+MgF_2)。そのように複雑な工程をへてもMgO基板に固執する理由は,基板収縮に起因する超電導薄膜のマイクロクラックを回避したいからである。実用段階に入った移動体通信フィルターでは,高い信頼性を要求されるゆえにマイクロクラック問題は重大である。MgO基板上のYBCO薄膜は圧縮応力であるためマイクロクラック問題は回避できる。マイクロデバイス応用の観点から,TFA-MOD・YBCO/CeO_2/MgO薄膜と従来のレーザアプレーション(PLD)法によるMgO基板上のYBCO薄膜との比較結果を22GHz表面抵抗Rsと臨界電流密度Jcにおいて報告する。 |
| 抄録(英) | TFA-MOD (trifluoroacetate-metalorganic deposition) method is low cost non-vacuum coating process to obtain the thin film of superconductors with precise controllability of compositions. However, There was a possibility with micro-crack in YBa_2Cu_3O_7-δ(YBCO) film on the LaAlO_3 substrate. The YBCO film reliability is important in the microwave filter for the front-end which has already come in the practical stage of mobile telecommunication stations. The YBCO film on MgO can avoid the micro-crack, because the compressive stress is received by the MgO substrate. CeO_2 buffered layer must be inserted between YBCO film and MgO, because the TFA-MOD YBCO thin film preparation is indispensable in order to protect the fluorine reaction to the practically useful MgO substrate (2HF+MgO -> H_2O+MgF_2). The comparisons between TFA-MOD and PLD YBCO films on MgO substrates are reported on 22GHz surface resistance and critical current density characteristics. |
| キーワード(和) | 酸化物超電導 / マイクロ波表面抵抗 / TFA-MOD / YBCO薄膜 / CeO_2中間層 / 臨界電流密度 |
| キーワード(英) | HTS / Microwave surface resistance / TFA-MOD / YBCO film / CeO_2 buffered layer / Critical current density |
| 資料番号 | SCE2003-3,MW2003-3 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
|---|---|
| 開催期間 | 2003/4/16(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Superconductive Electronics (SCE) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | CeO_2を中間層にしたMgO基板上におけるTFA-MOD YBCO 薄膜の臨界電流と22GHz表面抵抗(マイクロ波超伝導/一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Critical Current Density and 22GHz Surface Resistance of TFA-MOD YBCO Film on CeO_2-buffered MgO Substrate |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 酸化物超電導 / HTS |
| キーワード(2)（和/英） | マイクロ波表面抵抗 / Microwave surface resistance |
| キーワード(3)（和/英） | TFA-MOD / TFA-MOD |
| キーワード(4)（和/英） | YBCO薄膜 / YBCO film |
| キーワード(5)（和/英） | CeO_2中間層 / CeO_2 buffered layer |
| キーワード(6)（和/英） | 臨界電流密度 / Critical current density |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 鈴木 克己 / Katsumi Suzuki |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 超電導工学研究所 Superconductivity Research Laboratory |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 瀧 謙司 / Kenji Taki |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 超電導工学研究所:(現)京セラ(株) Superconductivity Research Laboratory |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 荒木 猛司 / Takeshi Araki |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 超電導工学研究所 Superconductivity Research Laboratory |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 山下 大介 / Daisuke Yamashita |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 超電導工学研究所 Superconductivity Research Laboratory |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 平林 泉 / Izumi Hirabayashi |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 超電導工学研究所 Superconductivity Research Laboratory |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 榎本 陽一 / Youichi Enomoto |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 超電導工学研究所:(現)NTT-AT Superconductivity Research Laboratory |
| 発表年月日 | 2003/4/16 |
| 資料番号 | SCE2003-3,MW2003-3 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 20 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |