| 講演名 | 2004/1/23 光ファイバ型低コヒーレンス干渉計を用いた膜厚温度センサの開発(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,集積光回路,半導体光導波路素子,PLC,ファイバ型デバイス,導波路解析,その他) 川崎 寛太, 竹田 圭吾, 伊藤 昌文, 輿水 地塩, |
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| 抄録(和) | プラズマエッチング等の超微細加工プロセスでは基板の温度制御がますます重要視されているが、有力なセンサシステムは未だ開発されていない。そこで、マイクロマシニングプロセスに用いられるSOI(silicon on insulator)など多層基板の各層温度を同時に計測できるセンサシステムを、低コヒーレンス干渉計とマイケルソン干渉計を同一の光ファイバを使用して構築し、その性能評価を行った。その結果、多層基板各層の温度変化計測の可能性を示すことができた。しかしこのセンサシステムでは、低コヒーレンス光源のコヒーレント長より光路長の短い薄膜層を持つ基板の温度計測が困難となる場合がある。そこで、この問題点を解決するため、本センサシステムを基本として薄膜層の厚さと基板の温度を同時に計測できる新しい手法を提案した。 |
| 抄録(英) | The temperature control of substrates will be significant to realize much finer and deeper pattern in an ultra-fine processing technology such as a plasma process. However a promising sensor system has not been developed. So we have developed a temperature sensor for measuring the temperature of each layer of multi-layered substrates, such as silicon on insulator (SOI) used in micro-machining processes, using a low-coherence interferometer and a Michelson interferometer. We have evaluated the system using three layered substrates. From these results, we have confirmed the usefulness of the system. But, circumstantially, the system cannot measure the temperatures of substrates with thin film layers which have the optical pass length less than coherent length of a low-coherent light source. To overcome this problem, we have proposed a novel sensor for measuring the thickness of the thin film layer as well as the temperature of the substrate. |
| キーワード(和) | プラズマエッチング / 低コヒーレンス干渉計 / マイケルソン干渉計 / 光ファイバセンサ |
| キーワード(英) | plasma etching / low-coherence interferometer / Michelson interferometer / optical fiber sensor |
| 資料番号 | PN2003-81,OFT2003-104,OPE2003-261,LQE2003-198 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OFT |
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| 開催期間 | 2004/1/23(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Optical Fiber Technology (OFT) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 光ファイバ型低コヒーレンス干渉計を用いた膜厚温度センサの開発(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,集積光回路,半導体光導波路素子,PLC,ファイバ型デバイス,導波路解析,その他) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Temperature and Thickness Sensor using Optical Fiber-type Low-coherence Interferometer |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | プラズマエッチング / plasma etching |
| キーワード(2)（和/英） | 低コヒーレンス干渉計 / low-coherence interferometer |
| キーワード(3)（和/英） | マイケルソン干渉計 / Michelson interferometer |
| キーワード(4)（和/英） | 光ファイバセンサ / optical fiber sensor |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 川崎 寛太 / Kanta KAWASAKI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 和歌山大学大学院システム工学研究科 Graduate School of Systems Engineering, Wakayama University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 竹田 圭吾 / Keigo TAKEDA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 和歌山大学大学院システム工学研究科 Graduate School of Systems Engineering, Wakayama University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 伊藤 昌文 / Masafumi ITO |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 和歌山大学大学院システム工学研究科 Graduate School of Systems Engineering, Wakayama University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 輿水 地塩 / Chishio KOSHIMIZU |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東京エレクトロンAT(株) ESD Development Division, Tokyo Electron AT Ltd. |
| 発表年月日 | 2004/1/23 |
| 資料番号 | PN2003-81,OFT2003-104,OPE2003-261,LQE2003-198 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 615 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |