| 講演名 | 2004/1/21 厳密結合波理論を用いた多層膜回折格子の偏波無依存設計およびその試作(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,集積光回路,半導体光導波路素子,PLC,ファイバ型デバイス,導波路解析,その他) 塩崎 学, 茂原 政一, |
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| 抄録(和) | 厳密結合波理論による光学解析と、シミュレーティッドアニーリング法を組合せた最適化手法を用い、サブ波長周期を有する透過型回折格子の偏波無依存化について検討した。高回折効率で偏波無依存化を実現するには、回折格子上下面での反射抑制が必要であることを示し、石英ガラス基板にTa_2O_5とSiO_2薄膜を蒸着しエッチングした2層構造の回折格子によって、広い波長帯域で高回折効率(>95%)かつ偏波無依存(<1%)を満足する設計を得た。さらに、この多層膜回折格子の原理確認を目的とした試作を行い、高角分散の回折格子としては良好な特性を得ると共に、実測値と計算値は良い一致を得た。 |
| 抄録(英) | We studied the polarization independent design of first-order transmission diffractive optical elements (DOEs) using optical simulation based on RCWA and computational optimization of SA method. To realize high diffraction efficiency and low polarization dependence, reduction of reflection at upper and bottom surfaces of a grating is important. So, by using the 2-layer structure of Ta_2O_5 and SiO_2, good design which satisfy the optical performance at broad wavelength band was obtained. Furthermore, in order to verify the effect of multi-layer structure, we fabricated the 2-layer DOE. Good optical performance considering high angle dispersion, and good agreement between experiment and simulation were obtained. |
| キーワード(和) | 厳密結合波理論 / 多層膜 / 回折格子 / サブ波長周期 / 偏波無依存 |
| キーワード(英) | RCWA / Multi-layer / Diffraction Grating / First-order / Polarization Independent |
| 資料番号 | PN2003-60,OFT2003-82,OPE2003-239,LQE2003-176 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OFT |
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| 開催期間 | 2004/1/21(から1日開催) |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Optical Fiber Technology (OFT) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 厳密結合波理論を用いた多層膜回折格子の偏波無依存設計およびその試作(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,集積光回路,半導体光導波路素子,PLC,ファイバ型デバイス,導波路解析,その他) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | The Novel Design of a Polarization Independent Multi-layer DOE Simulated by RCWA Method, and its Fabrication |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 厳密結合波理論 / RCWA |
| キーワード(2)（和/英） | 多層膜 / Multi-layer |
| キーワード(3)（和/英） | 回折格子 / Diffraction Grating |
| キーワード(4)（和/英） | サブ波長周期 / First-order |
| キーワード(5)（和/英） | 偏波無依存 / Polarization Independent |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 塩崎 学 / Manabu SHIOZAKI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 住友電気工業株式会社解析技術研究センター Analysis Technology Research Center, Sumitomo Electric Industries, Ltd. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 茂原 政一 / Masakazu SHIGEHARA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 住友電気工業株式会社光通信研究所 Optical Communications R&D Laboratory, Sumitomo Electric Industries, Ltd. |
| 発表年月日 | 2004/1/21 |
| 資料番号 | PN2003-60,OFT2003-82,OPE2003-239,LQE2003-176 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 613 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |