| 講演名 | 2018-12-25 酸素雰囲気中で作製したAlOx/GeOx/a-Geスタック構造に対する原子状水素アニールの効果 大貫 智史(兵庫県立大), 部家 彰(兵庫県立大), 松尾 直人(兵庫県立大), |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | EID2018-6,SDM2018-79 |
| 発行日 | 2018-12-18 (EID, SDM) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EID / SDM / ITE-IDY |
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| 開催期間 | 2018/12/25(から1日開催) |
| 開催地（和） | 龍谷大学 響都ホール 校友会館 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | シリコン関連材料の作製と評価およびディスプレイ技術 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 小南 裕子(静岡大) / 品田 高宏(東北大) |
| 委員長氏名（英） | Yuko Kominami(Shizuoka Univ.) / Takahiro Shinada(Tohoku Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 木村 睦(龍谷大) / 志賀 智一(電通大) / 山口 留美子(秋田大) / 平野 博茂(パナソニック・タワージャズ) |
| 副委員長氏名（英） | Mutsumi Kimura(Ryukoku Univ.) / Tomokazu Shiga(Univ. of Electro-Comm.) / Rumiko Yamaguchi(Akita Univ.) / Hiroshige Hirano(TowerJazz Panasonic) |
| 幹事氏名（和） | 伊達 宗和(NTT) / 山口 雅浩(東工大) / 池田 浩也(静岡大) / 諸岡 哲(東芝メモリー) |
| 幹事氏名（英） | Munekazu Date(NTT) / Masahiro Yamaguchi(Tokyo Inst. of Tech.) / Hiroya Ikeda(Shizuoka Univ.) / Tetsu Morooka(TOSHIBA MEMORY) |
| 幹事補佐氏名（和） | 新田 博幸(ジャパンディスプレイ) / 中田 充(NHK) / 野中 亮助(東芝) / 奥野 武志(ファーウェイ) / 森 貴洋(産総研) / 小林 伸彰(日大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Hiroyuki Nitta(Japan Display) / Mitsuru Nakata(NHK) / Ryosuke Nonaka(Toshiba) / Takeshi Okuno(Huawei) / Takahiro Mori(AIST) / Nobuaki Kobayashi(Nihon Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electronic Information Displays / Technical Committee on Silicon Device and Materials / Technical Group on Information Display |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 酸素雰囲気中で作製したAlOx/GeOx/a-Geスタック構造に対する原子状水素アニールの効果 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Effect of atomic hydrogen annealing on AlOx/GeOx/a-Ge stack structure fabricated in O2 ambient |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 大貫 智史 / Tomofumi Onuki |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学(略称：兵庫県立大) University of Hyogo(略称：Univ. Hyogo) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 部家 彰 / Akira Heya |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学(略称：兵庫県立大) University of Hyogo(略称：Univ. Hyogo) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 松尾 直人 / Naoto Matsuo |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 兵庫県立大学(略称：兵庫県立大) University of Hyogo(略称：Univ. Hyogo) |
| 発表年月日 | 2018-12-25 |
| 資料番号 | EID2018-6,SDM2018-79 |
| 巻番号（vol） | vol.118 |
| 号番号（no） | EID-379,SDM-380 |
| ページ範囲 | pp.21-24(EID), pp.21-24(SDM), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2018-12-18 (EID, SDM) |