| 講演名 | 2018-12-06 III-V/Siハイブリッド光集積回路に向けたチップオンウェーハプラズマ活性化接合の検討 白 柳(東工大), 菊地 健彦(住友電工), 御手洗 拓矢(東工大), 西山 伸彦(東工大), 八木 英樹(住友電工), 雨宮 智宏(東工大), 荒井 滋久(東工大), |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | ハイブリッド / 光集積回路 / チップオンウェーハ / プラズマ活性化接合 / フォトルミネッセンス / 応力 |
| キーワード(英) | Hybrid / Photonic Integrated Circuits / Chip-on-Wafer / Plasma Activated Bonding / photoluminescence / stress |
| 資料番号 | OPE2018-127,LQE2018-137,SIPH2018-43 |
| 発行日 | 2018-11-29 (OPE, LQE) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE / OPE |
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| 開催期間 | 2018/12/6(から2日開催) |
| 開催地（和） | 慶應義塾大学 |
| 開催地（英） | Keio University |
| テーマ（和） | Photonic Device Workshop (半導体レーザ関連技術, パッシブデバイス技術, シリコンフォトニクス) |
| テーマ（英） | Photonic Device Workshop |
| 委員長氏名（和） | 浜本 貴一(九大) / 佐藤 功紀(古河電工) |
| 委員長氏名（英） | Kiichi Hamamoto(Kyusyu Univ.) / Kouki Sato(Furukawa Electric Industries) |
| 副委員長氏名（和） | 有賀 博(三菱電機) / 高橋 浩(上智大) |
| 副委員長氏名（英） | Hiroshi Aruga(Mitsubishi Electric) / Hiroshi Takahashi(Sophia Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 八木 英樹(住友電工) / 川北 泰雅(古河電工) / 種村 拓夫(東大) / 山本 直克(NICT) |
| 幹事氏名（英） | Hideki Yagi(SEI) / Yasumasa Kawakita(Furukawa Electric Industries) / Takuo Tanemura(Univ. of Tokyo) / Naokatsu Yamamoto(NICT) |
| 幹事補佐氏名（和） | 永井 正也(阪大) / 庄司 雄哉(東京工業大学) / 妹尾 和則(NTT) |
| 幹事補佐氏名（英） | Masaya Nagai(Osaka Univ.) / Yuya Shoji(Tokyo Inst. of Tech.) / Kazunori Seno(NTT) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Lasers and Quantum Electronics / Technical Committee on OptoElectronics |
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| 本文の言語 | ENG-JTITLE |
| タイトル（和） | III-V/Siハイブリッド光集積回路に向けたチップオンウェーハプラズマ活性化接合の検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Examination of Chip-on-Wafer Plasma Activated Bonding Technology for III-V on Si hybrid Photonic Integrated Circuits |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ハイブリッド / Hybrid |
| キーワード(2)（和/英） | 光集積回路 / Photonic Integrated Circuits |
| キーワード(3)（和/英） | チップオンウェーハ / Chip-on-Wafer |
| キーワード(4)（和/英） | プラズマ活性化接合 / Plasma Activated Bonding |
| キーワード(5)（和/英） | フォトルミネッセンス / photoluminescence |
| キーワード(6)（和/英） | 応力 / stress |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 白 柳 / LIU BAI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京工業大学(略称：東工大) Tokyo Institute of Technology(略称：Tokyo Tech) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 菊地 健彦 / Takehiko Kikuchi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 住友電気工業株式会社(略称：住友電工) Sumitomo Electric Industries, Ltd(略称：SEI) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 御手洗 拓矢 / Takuya Mitarai |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東京工業大学(略称：東工大) Tokyo Institute of Technology(略称：Tokyo Tech) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 西山 伸彦 / Nobuhiko Nishiyama |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東京工業大学(略称：東工大) Tokyo Institute of Technology(略称：Tokyo Tech) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 八木 英樹 / Hideki Yagi |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 住友電気工業株式会社(略称：住友電工) Sumitomo Electric Industries, Ltd(略称：SEI) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 雨宮 智宏 / Tomohiro Amemiya |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 東京工業大学(略称：東工大) Tokyo Institute of Technology(略称：Tokyo Tech) |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 荒井 滋久 / Shigehisa Arai |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 東京工業大学(略称：東工大) Tokyo Institute of Technology(略称：Tokyo Tech) |
| 発表年月日 | 2018-12-06 |
| 資料番号 | OPE2018-127,LQE2018-137,SIPH2018-43 |
| 巻番号（vol） | vol.118 |
| 号番号（no） | OPE-348,LQE-349,SIPH- |
| ページ範囲 | pp.149-153(OPE), pp.149-153(LQE), pp.149-153(SIPH), |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2018-11-29 (OPE, LQE) |