| 講演名 | 2018-12-06 RAS(Radical Assisted Sputtering)法による(Er,Y)2Zr2O7結晶の作製と評価 宮城 輝大(電通大), 田中 康仁(電通大), 中村 絃人(電通大), 箕輪 映友子(電通大), 一色 秀夫(電通大), |
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| 抄録(和) | 次世代の高密度波長分割多重(DWDM)通信に向けて中屈折率差領域でのSi Photonicsの研究(n=2.0~ : Mid refractive Index Contrast: MiDex)が進められている。MiDexのコア材料としてSi窒化物が有力候補であり、Si窒化物に対応した屈折率及び光増幅機能を持ったMiDex光増幅媒質を作製することで大規模集積が可能となる。我々は、PLD(Pulsed Laser Deposition)法を用いて、屈折率が約2.1であり、室温下で優れた発光特性持った欠陥蛍石構造の(Er,Y)2Zr2O7結晶の作製に成功した。本研究では、MiDex光増幅器作製に向けて、Layer by Layer堆積を高速かつ大面積にできるRAS(Radical Assisted Sputtering)法を用いて(Er,Y)2Zr2O7結晶の作製を行う。RAS法で試料を作製した結果、基板表面が平坦であり、優れた発光特性を持った屈折率2.08の(Er,Y)2Zr2O7結晶の作製に成功した。以上より、(Er,Y)2Zr2O7結晶はMiDex光増幅媒質として期待できる。 |
| 抄録(英) | Research on MiDex Si Photonics for DWDM communication is in progress. For large scale integration, fabrication of a MiDex optical amplifier is necessary. However, MiDex materials suitable for MiDex optical amplifier have not yet been reported. In this work, (Er,Y)2Zr2O7 crystals were fabricated by Radical Assisted Sputtering method. It was found that this crystal has a refractive index of 2.08, the substrate surface is flat, and has excellent emission characteristics. To sum up, (Er,Y)2Zr2O7 crystal can be expected as a MiDex optical amplifier material. |
| キーワード(和) | DWDM通信 / Silicon Photonics / MiDex / RAS / (Er,Y)2Zr2O7結晶 |
| キーワード(英) | MiDex Si Photonics / DWDM communication / MiDex optical amplifier / RAS / (Er,Y)2Zr2O7 crystal |
| 資料番号 | OPE2018-116,LQE2018-126,SIPH2018-32 |
| 発行日 | 2018-11-29 (OPE, LQE) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE / OPE |
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| 開催期間 | 2018/12/6(から2日開催) |
| 開催地（和） | 慶應義塾大学 |
| 開催地（英） | Keio University |
| テーマ（和） | Photonic Device Workshop (半導体レーザ関連技術, パッシブデバイス技術, シリコンフォトニクス) |
| テーマ（英） | Photonic Device Workshop |
| 委員長氏名（和） | 浜本 貴一(九大) / 佐藤 功紀(古河電工) |
| 委員長氏名（英） | Kiichi Hamamoto(Kyusyu Univ.) / Kouki Sato(Furukawa Electric Industries) |
| 副委員長氏名（和） | 有賀 博(三菱電機) / 高橋 浩(上智大) |
| 副委員長氏名（英） | Hiroshi Aruga(Mitsubishi Electric) / Hiroshi Takahashi(Sophia Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 八木 英樹(住友電工) / 川北 泰雅(古河電工) / 種村 拓夫(東大) / 山本 直克(NICT) |
| 幹事氏名（英） | Hideki Yagi(SEI) / Yasumasa Kawakita(Furukawa Electric Industries) / Takuo Tanemura(Univ. of Tokyo) / Naokatsu Yamamoto(NICT) |
| 幹事補佐氏名（和） | 永井 正也(阪大) / 庄司 雄哉(東京工業大学) / 妹尾 和則(NTT) |
| 幹事補佐氏名（英） | Masaya Nagai(Osaka Univ.) / Yuya Shoji(Tokyo Inst. of Tech.) / Kazunori Seno(NTT) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Lasers and Quantum Electronics / Technical Committee on OptoElectronics |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | RAS(Radical Assisted Sputtering)法による(Er,Y)2Zr2O7結晶の作製と評価 |
| サブタイトル（和） | MiDex光増幅器材料 |
| タイトル（英） | Evaluation of (Er,Y)2Zr2O7 crystal prepared by Radical Assisted Sputtering |
| サブタイトル（和） | Toward Optical Amplifiers for MiDex |
| キーワード(1)（和/英） | DWDM通信 / MiDex Si Photonics |
| キーワード(2)（和/英） | Silicon Photonics / DWDM communication |
| キーワード(3)（和/英） | MiDex / MiDex optical amplifier |
| キーワード(4)（和/英） | RAS / RAS |
| キーワード(5)（和/英） | (Er,Y)2Zr2O7結晶 / (Er,Y)2Zr2O7 crystal |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 宮城 輝大 / Kodai Miyagi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 電気通信大学(略称：電通大) The University of Electro-Communications(略称：UEC) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 田中 康仁 / Yasuhito Tanaka |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 電気通信大学(略称：電通大) The University of Electro-Communications(略称：UEC) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 中村 絃人 / Ghent Nakamura |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 電気通信大学(略称：電通大) The University of Electro-Communications(略称：UEC) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 箕輪 映友子 / Ayuko Minowa |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 電気通信大学(略称：電通大) The University of Electro-Communications(略称：UEC) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 一色 秀夫 / Hideo Isshiki |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 電気通信大学(略称：電通大) The University of Electro-Communications(略称：UEC) |
| 発表年月日 | 2018-12-06 |
| 資料番号 | OPE2018-116,LQE2018-126,SIPH2018-32 |
| 巻番号（vol） | vol.118 |
| 号番号（no） | OPE-348,LQE-349,SIPH- |
| ページ範囲 | pp.93-96(OPE), pp.93-96(LQE), pp.93-96(SIPH), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2018-11-29 (OPE, LQE) |