講演名 2018-11-02
多結晶Si基板上に形成したGaN系ナノ柱状結晶の微細構造
佐藤 祐一(秋田大), 齋藤 嘉一(秋田大), 佐藤 勝彦(秋田大), 齋藤 宇(秋田大), 藤原 亜斗武(秋田大), 齋藤 翼(秋田大),
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抄録(和) 太陽電池に多用されている多結晶Siウェハを基板としてGaN系半導体のナノ柱状結晶を形成した.その微細構造を走査型および透過型電子顕微鏡により観察し,ナノ柱状結晶の結晶性について明らかにした.また,カソードルミネセンスにより発光特性を評価した.
抄録(英) GaN-based nanopillar-shaped crystals were grown on a multicrystalline Si wafer which is frequently used for preparations of solar cells. Microstructures of the nanocrystals were observed by scanning and transmission electron microscopies, and their crystallinities were made clear. Moreover, their optical emission properties were evaluated by a cathodoluminescence method.
キーワード(和) GaN / ナノ柱状結晶 / 多結晶Si / 微細構造
キーワード(英) GaN / nanopillar-shaped crystal / multicrystalline Si / microstructure
資料番号 CPM2018-51
発行日 2018-10-25 (CPM)

研究会情報
研究会 CPM / IEE-MAG
開催期間 2018/11/1(から2日開催)
開催地(和) まちなかキャンパス長岡
開催地(英) Machinaka campus Nagaoka
テーマ(和) 機能性材料(半導体、磁性体、誘電体、透明導電体・半導体、等)薄膜プロセス/材料/デバイス,一般
テーマ(英) Functional materials (semiconductors, magnetic materials, dielectric materials, transparent conductors, semiconductors, etc.) Thin film processes / materials / devices, etc.
委員長氏名(和) 廣瀬 文彦(山形大) / 山口 正洋(東北大)
委員長氏名(英) Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) / Masahiro Yamaguchi(Tohoku Univ.)
副委員長氏名(和) 武山 真弓(北見工大) / 小原 学(明治大) / 山田 啓壽(東芝)
副委員長氏名(英) Mayumi Takeyama(Kitami Inst. of Tech.) / Gaku Ohara(Meiji Univ.) / Keiji Yamada(Toshiba)
幹事氏名(和) 中村 雄一(豊橋技科大) / 赤毛 勇一(NTTデバイスイノベーションセンタ)
幹事氏名(英) Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) / Yuichi Akage(NTT)
幹事補佐氏名(和) 木村 康男(東京工科大) / 中澤 日出樹(弘前大) / 寺迫 智昭(愛媛大)
幹事補佐氏名(英) Yasuo Kimura(Tokyo Univ. of Tech.) / Hideki Nakazawa(Hirosaki Univ.) / Tomoaki Terasako(Ehime Univ.)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Technical Committee on Component Parts and Materials / Technical Meeting on Magnetics
本文の言語 JPN
タイトル(和) 多結晶Si基板上に形成したGaN系ナノ柱状結晶の微細構造
サブタイトル(和)
タイトル(英) Microstructures of GaN-based nanopillar-shaped crystals grown on a multicrystalline Si substrate
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) GaN / GaN
キーワード(2)(和/英) ナノ柱状結晶 / nanopillar-shaped crystal
キーワード(3)(和/英) 多結晶Si / multicrystalline Si
キーワード(4)(和/英) 微細構造 / microstructure
第 1 著者 氏名(和/英) 佐藤 祐一 / Yuichi Sato
第 1 著者 所属(和/英) 秋田大学(略称:秋田大)
Akita University(略称:Akita Univ.)
第 2 著者 氏名(和/英) 齋藤 嘉一 / Kaichi Saito
第 2 著者 所属(和/英) 秋田大学(略称:秋田大)
Akita University(略称:Akita Univ.)
第 3 著者 氏名(和/英) 佐藤 勝彦 / Katsuhiko Sato
第 3 著者 所属(和/英) 秋田大学(略称:秋田大)
Akita University(略称:Akita Univ.)
第 4 著者 氏名(和/英) 齋藤 宇 / Sora Saito
第 4 著者 所属(和/英) 秋田大学(略称:秋田大)
Akita University(略称:Akita Univ.)
第 5 著者 氏名(和/英) 藤原 亜斗武 / Atomu Fujiwara
第 5 著者 所属(和/英) 秋田大学(略称:秋田大)
Akita University(略称:Akita Univ.)
第 6 著者 氏名(和/英) 齋藤 翼 / Tsubasa Saito
第 6 著者 所属(和/英) 秋田大学(略称:秋田大)
Akita University(略称:Akita Univ.)
発表年月日 2018-11-02
資料番号 CPM2018-51
巻番号(vol) vol.118
号番号(no) CPM-276
ページ範囲 pp.75-80(CPM),
ページ数 6
発行日 2018-10-25 (CPM)