| 講演名 | 2018-10-04 c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を用いた液体中生体分子相互作用の検出 矢崎 花(早大), 五月女 巧(早大), 唐澤 嶺(早大), 高柳 真司(名工大), 吉田 憲司(千葉大), 柳谷 隆彦(早大), |
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| 抄録(和) | 小型で高感度な生体高分子センサが求められている. ScAlN薄膜のc軸を傾斜させた共振子は横波モードで励振し液体中でも効率よく動作させることができる.さらに,c軸傾斜配向ScAlN薄膜は高い擬似横波の電気機械結合係数k’152を有するため共振ピークが大きくS/N比の高い測定が期待できる.本報告では,RFマグネトロンスパッタ法によりc軸傾斜配向擬似厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を作製し,バイオセンサとしての動作をストレプトアビジン-ビオチン反応を用いて確認した. |
| 抄録(英) | Miniature and highly sensitive biosensors are required. c-Axis tilted ScAlN film resonator is suitable for sensing biomolecules in liquid because they can exite quasi-shear mode. We fabricated the resonator using c-axis tilted ScAlN films. Higher k’152 value of ScAlN films makes it possible to improve signal to noise ratio. In this study, the streptavidin-biotin interactions were monitored by using the c-axis tilted ScAlN film quasi-shear mode resonators. |
| キーワード(和) | バイオセンサ / ScAlN / QCM |
| キーワード(英) | biosensor / ScAlN / QCM |
| 資料番号 | US2018-54 |
| 発行日 | 2018-09-27 (US) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 2018/10/4(から1日開催) |
| 開催地（和） | 東北大学 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 一般(共催：東北大学電気通信研究所 超音波エレクトロニクス研究会、日本超音波医学会光超音波画像研究会、レーザー学会光音響イメージング技術専門委員会) |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 竹内 真一(桐蔭横浜大) |
| 委員長氏名（英） | Shinichi Takeuchi(Toin Univ. of Yokohama) |
| 副委員長氏名（和） | 黒澤 実(東工大) / 近藤 淳(静岡大) |
| 副委員長氏名（英） | Minoru Kurosawa(Tokyo Inst. of Tech.) / Jun Kondo(Shizuoka Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 森田 剛(東大) / 土屋 健伸(神奈川大) |
| 幹事氏名（英） | Takeshi Morita(Univ. of Tokyo) / Takenobu Tsuchiya(Kanagawa Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 小山 大介(同志社大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Daisuke Koyama(Doshisha Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Ultrasonics |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を用いた液体中生体分子相互作用の検出 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | c-Axis tilted ScAlN film shear mode resonators for detection of biomolecular interactions in liquid |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | バイオセンサ / biosensor |
| キーワード(2)（和/英） | ScAlN / ScAlN |
| キーワード(3)（和/英） | QCM / QCM |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 矢崎 花 / Hana Yazaki |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 早稲田大学(略称：早大) Waseda University(略称：Waseda Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 五月女 巧 / Takumi Soutome |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 早稲田大学(略称：早大) Waseda University(略称：Waseda Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 唐澤 嶺 / Rei Karasawa |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 早稲田大学(略称：早大) Waseda University(略称：Waseda Univ.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 高柳 真司 / Shinji Takayanagi |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 名古屋工業大学(略称：名工大) Nagoya Institute of Technology(略称：Nagoya Inst. Tech.) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 吉田 憲司 / Kenji Yoshida |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 千葉大学(略称：千葉大) Chiba University(略称：Chiba Univ.) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 柳谷 隆彦 / TakahikoYanagitani |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 早稲田大学(略称：早大) Waseda University(略称：Waseda Univ.) |
| 発表年月日 | 2018-10-04 |
| 資料番号 | US2018-54 |
| 巻番号（vol） | vol.118 |
| 号番号（no） | US-229 |
| ページ範囲 | pp.31-35(US), |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2018-09-27 (US) |