講演名 2018-10-19
60GHz帯シリコンCMOSオンチップダイポールアンテナのシリコン貫通ビアによる損失低減の一検討
平野 拓一(東京都市大),
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抄録(和) ミリ波帯においては、アンテナが小型になるため、近年開発が進んでいるCMOSチップに一体化して作成するオンチップアンテナが有望である。オンチップアンテナを用いることの長所として、外部パッケージや基板との接続に苦労する必要がない。短所としてはシリコン基板による損失が非常に大きいので、放射効率が非常に低いという問題がある。シリコン基板による損失はHeイオンやプロトンの照射により、低減可能であることが確認されている。しかし、イオン照射できないFETを含む回路が周囲にあるため、一部のみイオン照射が行われる。そのような場合に、シリコンチップの限られた領域のみ損失を低減できるので、損失の大きなエリアに電磁界が侵入するのを阻止する必要がある。本稿では、さらに放射効率を改善するために、シリコン貫通ビア(TSV)を用いて電磁界のシリコン基板への侵入を防ぐ検討を行った。
抄録(英) 60 GHz CMOS on-chip antenna is low radiation efficiency due to large loss of silicon (Si) substrate. It is reported that loss due to lossy silicon substrate can be reduced by helium-3 ion irradiation. There are active devices and well (P-well or N-well) on the surface of the silicon substrate. To reduce loss due to well, we have introduced through-silicon via (TSV) and characteristics are analyze.
キーワード(和) ミリ波 / オンチップアンテナ / ダイポールアンテナ / CMOS / シリコン貫通電極 / イオン照射 / 放射効率 / ウェル
キーワード(英) Millimeter-wave / On-chip antenna / Dipole antenna / CMOS / TSV / Ion irradiation / Radiation efficiency / Well
資料番号 EMCJ2018-51,MW2018-87,EST2018-73
発行日 2018-10-11 (EMCJ, MW, EST)

研究会情報
研究会 EST / MW / EMCJ / IEE-EMC
開催期間 2018/10/18(から2日開催)
開催地(和) 八戸商工会館(青森県八戸市)
開催地(英) Hachinohe Chamber of Commerce and Industry(Hachinohe city, Aomori)
テーマ(和) シミュレーション技術・EMC、マイクロ波、電磁界シミュレーション、一般
テーマ(英) Simulation techniques, EMC, Microwave, Electromagnetic field simulation, etc.
委員長氏名(和) 平田 晃正(名工大) / 村口 正弘(東京理科大) / 和田 修己(京大) / 山崎 健一(電中研)
委員長氏名(英) Akimasa Hirata(Nagoya Inst. of Tech.) / Masahiro Muraguchi(TUS) / Osami Wada(Kyoto Univ.) / 山崎 健一(電中研)
副委員長氏名(和) 大貫 進一郎(日大) / 君島 正幸(アドバンテスト研) / 柴山 純(法政大) / 古神 義則(宇都宮大) / 岡崎 浩司(NTTドコモ) / 田島 賢一(三菱電機) / 王 建青(名工大)
副委員長氏名(英) Shinichiro Ohnuki(Nihon Univ.) / Masayuki Kimishima(Advantest) / Jun Shibayama(Hosei Univ.) / Yoshinori Kogami(Utsunomiya Univ.) / Hiroshi Okazaki(NTT DOCOMO) / Kenichi Tajima(Mitsubishi Electric) / Kensei Oh(Nagoya Inst. of Tech.)
幹事氏名(和) 江口 真史(千歳科技大) / 園田 潤(仙台高専) / 中村 宝弘(日立) / 清水 隆志(宇都宮大) / 青柳 貴洋(東工大) / 白木 康博(三菱電機) / 石上 忍(東北学院大) / 池畑 政輝(鉄道総研)
幹事氏名(英) Masashi Eguchi(CIST) / Jun Sonoda(National Inst. of Tech.,Sendai College) / Takahiro Nakamura(HITACHI) / Takashi Shimizu(Utsunomiya Univ.) / Takahiro Aoyagi(Tokyo Inst. of Tech.) / Yasuhiro Shiraki(Mitsubishi Electric) / 石上 忍(東北学院大) / 池畑 政輝(鉄道総研)
幹事補佐氏名(和) 伊藤 孝弘(名工大) / 藤田 和広(富士通) / 本良 瑞樹(東北大) / 吉田 賢史(鹿児島大) / 長澤 忍(三菱電機) / 山本 真一郎(兵庫県立大) / 鵜生 高徳(デンソー) / 井渕 貴章(阪大)
幹事補佐氏名(英) Takahiro Ito(Nagoya Inst. of Tech.) / Kazuhiro Fujita(Fujitsu) / Mizuki Motoyoshi(Tohoku Univ.) / Satoshi Yoshida(Kagoshima Univ.) / Shinobu Nagasawa(Mitsubishi Electric) / Shinichiro Yamamoto(Univ. of Hyogo) / Takanori Unou(Denso) / 井渕 貴章(阪大)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Technical Committee on Electronics Simulation Technology / Technical Committee on Microwaves / Technical Committee on Electromagnetic Compatibility / Technical Meeting on Electromagnetic Compatibility (IEE-EMC)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 60GHz帯シリコンCMOSオンチップダイポールアンテナのシリコン貫通ビアによる損失低減の一検討
サブタイトル(和)
タイトル(英) A Study of Loss Reduction in 60 GHz Band Silicon CMOS On-Chip Dipole Antenna using TSV
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) ミリ波 / Millimeter-wave
キーワード(2)(和/英) オンチップアンテナ / On-chip antenna
キーワード(3)(和/英) ダイポールアンテナ / Dipole antenna
キーワード(4)(和/英) CMOS / CMOS
キーワード(5)(和/英) シリコン貫通電極 / TSV
キーワード(6)(和/英) イオン照射 / Ion irradiation
キーワード(7)(和/英) 放射効率 / Radiation efficiency
キーワード(8)(和/英) ウェル / Well
第 1 著者 氏名(和/英) 平野 拓一 / Takuichi Hirano
第 1 著者 所属(和/英) 東京都市大学(略称:東京都市大)
Tokyo City University(略称:Tokyo City Univ.)
発表年月日 2018-10-19
資料番号 EMCJ2018-51,MW2018-87,EST2018-73
巻番号(vol) vol.118
号番号(no) EMCJ-247,MW-248,EST-249
ページ範囲 pp.105-109(EMCJ), pp.105-109(MW), pp.105-109(EST),
ページ数 5
発行日 2018-10-11 (EMCJ, MW, EST)