| 講演名 | 2018-08-08 金属-誘電体-金属サブ波長格子とMEMS静電アクチュエータを一体化した可変プラズモニックカラーフィルタの作製 平田 敦也(豊橋技科大), 満留 将人(豊橋技科大), 澤田 和明(豊橋技科大), 高橋 一浩(豊橋技科大), |
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| 抄録(和) | 本研究室で開発した静電櫛形アクチュエータとAlサブ波長格子の一体型可変プラズモニックカラーフィルタは透過光ピークシフトの制御が可能であるが、長波長側の光リークが50 %程度発生していたため、波長選択性の向上が必要であった。そこで、本研究では表面プラズモンの励起効率の向上が可能な金属-誘電体-金属(MIM)サブ波長格子とMEMSアクチュエータを一体化させた可変プラズモニックカラーフィルタの製作を目的とした。FIB加工と犠牲層エッチングを組み合わせた作製技術により、基板から自立したMIMサブ波長格子フィルタを作製し、長波長側の光リークを抑制し、波長選択性が向上した結果が得られた。また、MIMサブ波長格子と一体化したアクチュエータを電圧印加によって動作させることに成功し、印加電圧110 Vで格子周期が500 nm から562 nmに拡張したことを示唆する結果が得られた。 |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | 表面プラズモン / MEMS / カラーフィルタ / 静電アクチュエータ |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | ED2018-24 |
| 発行日 | 2018-08-01 (ED) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2018/8/8(から1日開催) |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | センサ、MEMS、一般 (※この研究会は台風接近が予想されるため中止となりました。) |
| テーマ（英） | Sensor, MEMS, general（※This Technical Committee Conference was canceled as typhoon approach is expected.） |
| 委員長氏名（和） | 津田 邦男(東芝インフラシステムズ) |
| 委員長氏名（英） | Kunio Tsuda(Toshiba) |
| 副委員長氏名（和） | 須原 理彦(首都大) |
| 副委員長氏名（英） | Michihiko Suhara(TMU) |
| 幹事氏名（和） | 東脇 正高(NICT) / 大石 敏之(佐賀大) |
| 幹事氏名（英） | Masataka Higashiwaki(NICT) / Toshiyuki Oishi(Saga Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 岩田 達哉(豊橋技科大) / 小谷 淳二(富士通研) |
| 幹事補佐氏名（英） | Tatsuya Iwata(TUT) / Junji Kotani(Fjitsu Lab.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electron Devices |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 金属-誘電体-金属サブ波長格子とMEMS静電アクチュエータを一体化した可変プラズモニックカラーフィルタの作製 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of MEMS tunable plasomonic color filter integrated with Metal-Insulator-Metal (MIM) subwavelength grating and electrostatic actuator |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 表面プラズモン |
| キーワード(2)（和/英） | MEMS |
| キーワード(3)（和/英） | カラーフィルタ |
| キーワード(4)（和/英） | 静電アクチュエータ |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 平田 敦也 / Atsuya Hirata |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学(略称：豊橋技科大) Toyohashi University of Technology(略称：TUT) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 満留 将人 / Masato Mitsudome |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学(略称：豊橋技科大) Toyohashi University of Technology(略称：TUT) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 澤田 和明 / Kazuaki Sawada |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学(略称：豊橋技科大) Toyohashi University of Technology(略称：TUT) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 高橋 一浩 / Kazuhiro Takahashi |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学(略称：豊橋技科大) Toyohashi University of Technology(略称：TUT) |
| 発表年月日 | 2018-08-08 |
| 資料番号 | ED2018-24 |
| 巻番号（vol） | vol.118 |
| 号番号（no） | ED-175 |
| ページ範囲 | pp.27-30(ED), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2018-08-01 (ED) |