| 講演名 | 2018-07-06 電析FePtCuのL10規則化促進に向けた微細構造制御 堤 優也(早大), 神戸 茉奈(早大), ジョバンニ ザンガリ(バージニア大), 本間 敬之(早大), |
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| 抄録(和) | 我々はビットパターンドメディア(BPM)の形成プロセスとしてリソグラフィ技術と電解析出法を組み合わせた手法の検討を行っている．従来の検討においてFePt合金を用いてナノドットアレイの形成に成功したが，L10規則化が不十分であることが課題であった．そこで，本検討ではCuの添加によるFePtCu三元合金の形成によってL10規則化促進を試みた．その結果FePt合金と比べてL10規則化が促進されたが，組成が不均一であり規則化が不十分であると推測された．そこで，成膜時の物質輸送の制御による膜内組成の均一化を目的としてFePtCu合金の形成に回転電極系を適用した．その結果，従来の電極系を用いた場合に比べL10規則化の促進及び結晶性の向上が確認された． |
| 抄録(英) | We have developed fabrication process of ferromagnetic nanodot arrays for bit patterned media (BPM) by using lithography techniques and electrodeposition. In our previous work, we achieved to fabricate FePt nanodot array, however their L10 ordering was found to be insufficient. In the present work, we attempted to fabricate FePtCu ternary-alloy by electrodeposition with Cu additives in order to enhance the L10-ordering. As a result, L10-ordering was enhanced by FePtCu alloying, on the other hand, compositional gradient, which suppress L10-ordering, was observed. In order to avoid this, we applied a rotating electrode to achieve uniform film composition by controlling mass transfer process. As a result, L10 ordering was enhanced to obtain higher crystallinity. |
| キーワード(和) | ビットパターンドメディア / 電解析出法 / FePtCuナノドットアレイ / 回転電極 / L10規則化促進 |
| キーワード(英) | Bit patterned media / Electrodeposition / FePtCu nanodot array / Rotating electrode / Enhancement of L10-ordering |
| 資料番号 | MRIS2018-13 |
| 発行日 | 2018-06-29 (MRIS) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | MRIS / ITE-MMS |
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| 開催期間 | 2018/7/6(から1日開催) |
| 開催地（和） | 早稲田大学 |
| 開催地（英） | Waseda Univ. |
| テーマ（和） | 固体メモリ・媒体，一般 |
| テーマ（英） | Solid State Memory, Media, etc. |
| 委員長氏名（和） | 松沼 悟(マクセル) / 石井 紀彦(NHK) |
| 委員長氏名（英） | Satoshi Matsunuma(Maxell) / Norihiko Ishii(NHK) |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | 永澤 鶴美(東芝) / 吉田 周平(近畿大) / 武者 敦史(富士フイルム) |
| 幹事氏名（英） | Tazumi Nagasawa(Toshiba) / Shuhei Yoshida(Kindai Univ.) / Atsushi Musha(Fujifilm) |
| 幹事補佐氏名（和） | 田河 育也(東北工大) / 荒井 礼子(産総研) |
| 幹事補佐氏名（英） | Ikuya Tagawa(Tohoku Inst. of Tech.) / Hiroko Arai(AIST) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Magnetic Recording & Information Storage / Technical Group on Multi-media Storage |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 電析FePtCuのL10規則化促進に向けた微細構造制御 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Structural Control of Electrodeposited FePtCu for Enhancing L10 Ordering |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ビットパターンドメディア / Bit patterned media |
| キーワード(2)（和/英） | 電解析出法 / Electrodeposition |
| キーワード(3)（和/英） | FePtCuナノドットアレイ / FePtCu nanodot array |
| キーワード(4)（和/英） | 回転電極 / Rotating electrode |
| キーワード(5)（和/英） | L10規則化促進 / Enhancement of L10-ordering |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 堤 優也 / Yuya Tsutsumi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 早稲田大学(略称：早大) Waseda University(略称：Waseda Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 神戸 茉奈 / Mana Kambe |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 早稲田大学(略称：早大) Waseda University(略称：Waseda Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | ジョバンニ ザンガリ / Giovanni Zangari |
| 第 3 著者 所属（和/英） | ヴァージニア大学(略称：バージニア大) University of Virginia(略称：UVA) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 本間 敬之 / Takayuki Homma |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 早稲田大学(略称：早大) Waseda University(略称：Waseda Univ.) |
| 発表年月日 | 2018-07-06 |
| 資料番号 | MRIS2018-13 |
| 巻番号（vol） | vol.118 |
| 号番号（no） | MRIS-121 |
| ページ範囲 | pp.13-17(MRIS), |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2018-06-29 (MRIS) |