| 講演名 | 2018-07-20 エピタキシャル(Pb,La)(Zr,Ti)O3 (PLZT)薄膜を用いた高速光変調器 阿部 峻佑(アドバンテスト研), 原 英生(アドバンテスト研), 増田 伸(アドバンテスト研), 君島 正幸(アドバンテスト研), |
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| 抄録(和) | 光通信の分野においてLiNbO3（LN）を用いた光変調器が主流であるが、素子の小型化は難しく、集積化に適した新材料による光変調素子への要求が高まっている．これまで我々は120 pm/VとLNより4倍高いEO係数をもつエピタキシャルPLZT薄膜をサファイア基板上に成膜することに成功している．本報告では、PLZT薄膜を用いた小型、低電圧駆動の高速光変調器について報告する．光導波路の設計はFinite-difference time-domain method (FDTD)、高速変調を行うCoplanar waveguide (CPW)電極設計にはFinit element method (FEM)を使用して行い、試作評価の結果50 Gb/s以上の変調動作を確認した． |
| 抄録(英) | LiNbO3 (LN) based modulators are widely used in optical communications because of its high reliabilities. To satisfy the demands of smaller or integrated devices, new materials with larger electro-optic (EO) coefficients are necessary. In this paper, we describe small and low driving voltage modulators operating at more than 50 Gb/s using our epitaxially-grown PLZT thin films on sapphire substrate. Finite-difference time-domain method (FDTD) is used to design optical waveguide modulators, and finite element method (FEM) is used to design coplanar waveguide (CPW). We fabricated the modulator and confirmed more than 50 Gb/s optical modulation. |
| キーワード(和) | (Pb, La)(Zr, Ti)O3 / 光変調器 / 強誘電体 / HFSS / FDTD |
| キーワード(英) | (Pb, La)(Zr, Ti)O3 / Optical modulator / Ferroelectric / HFSS / FDTD |
| 資料番号 | EMT2018-33,MW2018-48,OPE2018-36,EST2018-31,MWP2018-32 |
| 発行日 | 2018-07-12 (EMT, MW, OPE, EST, MWP) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EST / MW / OPE / MWP / EMT / IEE-EMT |
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| 開催期間 | 2018/7/19(から2日開催) |
| 開催地（和） | 洞爺観光ホテル |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 光・電波ワークショップ |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 平田 晃正(名工大) / 村口 正弘(東京理科大) / 佐藤 功紀(古河電工) / 川西 哲也(早大) / 廣瀬 明(東大) / 後藤 啓次(防衛大) |
| 委員長氏名（英） | Akimasa Hirata(Nagoya Inst. of Tech.) / Masahiro Muraguchi(TUS) / Kouki Sato(Furukawa Electric Industries) / Tetsuya Kawanishi(Waseda Univ.) / Akira Hirose(Univ. of Tokyo) / Keiji Goto(National Defense Academy) |
| 副委員長氏名（和） | 大貫 進一郎(日大) / 君島 正幸(アドバンテスト研) / 柴山 純(法政大) / 古神 義則(宇都宮大) / 岡崎 浩司(NTTドコモ) / 田島 賢一(三菱電機) / 高橋 浩(上智大) / 吉本 直人(千歳科技大) / 平山 浩一(北見工大) |
| 副委員長氏名（英） | Shinichiro Ohnuki(Nihon Univ.) / Masayuki Kimishima(Advantest) / Jun Shibayama(Hosei Univ.) / Yoshinori Kogami(Utsunomiya Univ.) / Hiroshi Okazaki(NTT DOCOMO) / Kenichi Tajima(Mitsubishi Electric) / Hiroshi Takahashi(Sophia Univ.) / Naoto Yoshimoto(Chitose Inst. of Science and Tech.) / Koichi Hirayama(Kitami Inst. of Tech.) |
| 幹事氏名（和） | 江口 真史(千歳科技大) / 園田 潤(仙台高専) / 中村 宝弘(日立) / 清水 隆志(宇都宮大) / 種村 拓夫(東大) / 山本 直克(NICT) / 菅野 敦史(NICT) / 枚田 明彦(千葉工大) / 黒木 啓之(都立産技高専) / 渡辺 仰基(福岡工大) / 川口 秀樹(室蘭工大) / 西岡 泰弘(三菱電機) |
| 幹事氏名（英） | Masashi Eguchi(CIST) / Jun Sonoda(National Inst. of Tech.,Sendai College) / Takahiro Nakamura(HITACHI) / Takashi Shimizu(Utsunomiya Univ.) / Takuo Tanemura(Univ. of Tokyo) / Naokatsu Yamamoto(NICT) / Atsushi Kanno(NICT) / Akihiko Hirata(Chiba Inst. of Tech.) / Takashi Kuroki(Tokyo Metro. Coll. of Tech) / Koki Watanabe(Fukuoka Inst.of Tech.) / Hideki Kawaguchi(Muroran IT) / Yasuhiro Nishioka(Mitsubishi Electric) |
| 幹事補佐氏名（和） | 伊藤 孝弘(名工大) / 藤田 和広(富士通) / 本良 瑞樹(東北大) / 吉田 賢史(鹿児島大) / 庄司 雄哉(東京工業大学) / 妹尾 和則(NTT) / 池田 研介(電中研) / 西村 公佐(KDDI総合研究所) / 杉坂 純一郎(北見工大) / 中 良弘(九州保健福祉大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Takahiro Ito(Nagoya Inst. of Tech.) / Kazuhiro Fujita(Fujitsu) / Mizuki Motoyoshi(Tohoku Univ.) / Satoshi Yoshida(Kagoshima Univ.) / Yuya Shoji(Tokyo Inst. of Tech.) / Kazunori Seno(NTT) / Kensuke Ikeda(CRIEPI) / Kosuke Nishimura(KDDI Research) / Junichiro Sugisaka(Kitami Inst. of Tech.) / Yoshihiro Naka(Kyushu Univ. of Health and Welfare) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electronics Simulation Technology / Technical Committee on Microwaves / Technical Committee on OptoElectronics / Technical Committee on Microwave and Millimeter-wave Photonics / Technical Committee on Electromagnetic Theory / Technical Meeting on Electromagnetic Theory |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | エピタキシャル(Pb,La)(Zr,Ti)O3 (PLZT)薄膜を用いた高速光変調器 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | High-speed optical modulators based on epitaxially grown (Pb,La)(Zr,Ti)O3 (PLZT) thin films |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | (Pb, La)(Zr, Ti)O3 / (Pb, La)(Zr, Ti)O3 |
| キーワード(2)（和/英） | 光変調器 / Optical modulator |
| キーワード(3)（和/英） | 強誘電体 / Ferroelectric |
| キーワード(4)（和/英） | HFSS / HFSS |
| キーワード(5)（和/英） | FDTD / FDTD |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 阿部 峻佑 / Shunsuke Abe |
| 第 1 著者 所属（和/英） | アドバンテスト研究所(略称：アドバンテスト研) Advantest Laboratories, Ltd.(略称：Advantest Labs.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 原 英生 / Hideo Hara |
| 第 2 著者 所属（和/英） | アドバンテスト研究所(略称：アドバンテスト研) Advantest Laboratories, Ltd.(略称：Advantest Labs.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 増田 伸 / Shin Masuda |
| 第 3 著者 所属（和/英） | アドバンテスト研究所(略称：アドバンテスト研) Advantest Laboratories, Ltd.(略称：Advantest Labs.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 君島 正幸 / Masayuki Kimishima |
| 第 4 著者 所属（和/英） | アドバンテスト研究所(略称：アドバンテスト研) Advantest Laboratories, Ltd.(略称：Advantest Labs.) |
| 発表年月日 | 2018-07-20 |
| 資料番号 | EMT2018-33,MW2018-48,OPE2018-36,EST2018-31,MWP2018-32 |
| 巻番号（vol） | vol.118 |
| 号番号（no） | EMT-141,MW-142,OPE-143,EST-144,MWP-145 |
| ページ範囲 | pp.143-148(EMT), pp.143-148(MW), pp.143-148(OPE), pp.143-148(EST), pp.143-148(MWP), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2018-07-12 (EMT, MW, OPE, EST, MWP) |