| 講演名 | 2018-06-15 SIM型SADPのための環状の配線経路を求める手法 赤塚 駿(東京農工大), 藤吉 邦洋(東京農工大), |
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| 抄録(和) | 高密度なLSI製造のために、光リソグラフィの露光限界を超えて微細な加工を行う技術として用いられるダブルパターニングの種類の中で、微細加工が更に進むと有用になるのではと考えられているSpacer-Is-Metal (SIM)型Self-Aligned Double Patterning (SADP)の配線は、環状の経路から切り出したものでなければならないため、分岐ができず、設計が非常に難しい。本稿では、この問題に対して特定の条件を満たした入力なら必ず配線経路を求めることができる手法を提案し、更に複雑な場合への拡張を考える。 |
| 抄録(英) | Wires of Spacer-Is-Metal (SIM) type Self-Aligned Double Patterning (SADP) is peculiar since wires is circular when dummy wires are appended. Therefore any wire cannot be branched and the design of such wires is very difficult. We revealed a sufficient condition for the existence of routing for interconnection requirements. We proposed a routing algorithm for interconnection requirements which satisfy the condition. Finally, we relax the sufficient condition. |
| キーワード(和) | ダブルパターニング / SADP / SIM型SADP / 十分条件 |
| キーワード(英) | Double Patterning / SADP / Spacer-Is-Metal type SADP / Sufficient condition |
| 資料番号 | CAS2018-30,VLD2018-33,SIP2018-50,MSS2018-30 |
| 発行日 | 2018-06-07 (CAS, VLD, SIP, MSS) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CAS / SIP / MSS / VLD |
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| 開催期間 | 2018/6/14(から2日開催) |
| 開催地（和） | 北海道大学フロンティア応用科学研究棟 |
| 開催地（英） | Hokkaido Univ. (Frontier Research in Applied Sciences Build.) |
| テーマ（和） | システムと信号処理および一般 |
| テーマ（英） | System and Signal Processing, etc |
| 委員長氏名（和） | 岡崎 秀晃(湘南工科大) / 村松 正吾(新潟大) / 名嘉村 盛和(琉球大) / 峯岸 孝行(三菱電機) |
| 委員長氏名（英） | Hideaki Okazaki(Shonan Inst. of Tech.) / Shogo Muramatsu(Niigata Univ.) / Morikazu Nakamura(Univ. of Ryukyus) / Noriyuki Minegishi(Mitsubishi Electric) |
| 副委員長氏名（和） | 山脇 大造(日立) / 相川 直幸(東京理科大) / 林 和則(阪市大) / 髙井 重昌(阪大) / 戸川 望(早大) |
| 副委員長氏名（英） | Taizo Yamawaki(Hitachi) / Naoyuki Aikawa(TUS) / Kazunori Hayashi(Osaka City Univ) / Shigemasa Takai(Osaka Univ.) / Nozomu Togawa(Waseda Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 橘 俊宏(湘南工科大) / 中村 洋平(日立) / 渡邊 修(拓殖大) / 中本 昌由(広島大学) / 豊嶋 伊知郎(東芝エネルギーシステムズ) / 金澤 尚史(阪大) / 新田 高庸(NTT) / 小平 行秀(会津大) |
| 幹事氏名（英） | Toshihiro Tachibana(Shonan Inst. of Tech.) / Yohei Nakamura(Hitachi) / Osamu Watanabe(Takushoku Univ.) / Masayoshi Nakamoto(Hiroshima Univ.) / Ichiro Toyoshima(Toshiba) / Takahumi Kanazawa(Osaka Univ.) / Koyo Nitta(NTT) / Yukihide Odaira(Aizu Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 山口 基(ルネサスエレクトロニクス) / / 金城 秀樹(沖縄大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Motoi Yamaguchi(Renesas Electronics) / / Hideki Kinjo(Okinawa Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Circuits and Systems / Technical Committee on Signal Processing / Technical Committee on Mathematical Systems Science and its applications / Technical Committee on VLSI Design Technologies |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | SIM型SADPのための環状の配線経路を求める手法 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Routing Algorithm to Achieve Circular Wire for SIM-Type SADP |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ダブルパターニング / Double Patterning |
| キーワード(2)（和/英） | SADP / SADP |
| キーワード(3)（和/英） | SIM型SADP / Spacer-Is-Metal type SADP |
| キーワード(4)（和/英） | 十分条件 / Sufficient condition |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 赤塚 駿 / Shun Akatsuka |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京農工大学(略称：東京農工大) Tokyo University of Agriculture and Technology(略称：TUAT) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 藤吉 邦洋 / Kunihiro Fujiyoshi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京農工大学(略称：東京農工大) Tokyo University of Agriculture and Technology(略称：TUAT) |
| 発表年月日 | 2018-06-15 |
| 資料番号 | CAS2018-30,VLD2018-33,SIP2018-50,MSS2018-30 |
| 巻番号（vol） | vol.118 |
| 号番号（no） | CAS-82,VLD-83,SIP-84,MSS-85 |
| ページ範囲 | pp.155-160(CAS), pp.155-160(VLD), pp.155-160(SIP), pp.155-160(MSS), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2018-06-07 (CAS, VLD, SIP, MSS) |