| 講演名 | 2018-04-19 ナノチャネルTiO2を用いた薄膜トランジスタと光センサへの応用 鹿又 健作(山形大), 菊地 航(山形大), 吉田 一樹(山形大), 三浦 正範(山形大), 有馬 ボシールアハンマド(山形大), 久保田 繁(山形大), 廣瀬 文彦(山形大), |
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| 抄録(和) | 近年、酸化物半導体を用いた各種センサの研究が進められている。TiO2は透明性を持ったn型の酸化物半導体であり、光触媒活性や官能基修飾による分子吸着の制御、生体親和性のある安定物質であるという特性から、紫外光センサやガスセンサ、バイオセンサへの応用が検討されている。前回の報告において我々は、室温原子層堆積法を用いてTiO2を成膜し、アニール処理によってアナターゼ相のTiO2薄膜を形成した。これを薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor, TFT)のチャネル層に適用し、TFTの動作を確認した。電界効果移動度として2.0×10-3 cm2/Vs、閾値電圧は7.3Vが得られた。また、紫外光照射時に顕著な出力電流の増加が見られた。本研究では、TFTの紫外光照射時における出力電流特性を大気中、真空中、N2雰囲気中で測定し、TiO2表面に吸着する酸素がチャネル層の導電率変調に関係する結果が得られた。研究会ではTiO2表面に吸着した酸素が導電率に与える影響について議論する。 |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | 室温原子層堆積法 / 薄膜トランジスタ / TiO2 / 光センサ |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | ED2018-4 |
| 発行日 | 2018-04-12 (ED) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2018/4/19(から2日開催) |
| 開催地（和） | 山形大学 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 有機デバイス、酸化物デバイス、一般 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 津田 邦男(東芝) |
| 委員長氏名（英） | Kunio Tsuda(Toshiba) |
| 副委員長氏名（和） | 須原 理彦(首都大) |
| 副委員長氏名（英） | Michihiko Suhara(TMU) |
| 幹事氏名（和） | 新井 学(新日本無線) / 東脇 正高(NICT) |
| 幹事氏名（英） | Manabu Arai(New JRC) / Masataka Higashiwaki(NICT) |
| 幹事補佐氏名（和） | 大石 敏之(佐賀大) / 岩田 達哉(豊橋技科大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Toshiyuki Oishi(Saga Univ.) / Tatsuya Iwata(TUT) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electron Devices |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ナノチャネルTiO2を用いた薄膜トランジスタと光センサへの応用 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of thin film transistor by using TiO2 nano chanel for photo sensor |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 室温原子層堆積法 |
| キーワード(2)（和/英） | 薄膜トランジスタ |
| キーワード(3)（和/英） | TiO2 |
| キーワード(4)（和/英） | 光センサ |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 鹿又 健作 / Kensaku Kanomata |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 菊地 航 / Ko Kikuchi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 吉田 一樹 / Kazuki Yoshida |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 三浦 正範 / Masanori Miura |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 有馬 ボシールアハンマド / Bashir Ahmmad Arima |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 久保田 繁 / Shigeru Kubota |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirose |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 発表年月日 | 2018-04-19 |
| 資料番号 | ED2018-4 |
| 巻番号（vol） | vol.118 |
| 号番号（no） | ED-9 |
| ページ範囲 | pp.13-16(ED), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2018-04-12 (ED) |