| 講演名 | 2018-04-19 凸版反転印刷電極を用いた有機トランジスタの四端子測定 圓岡 岳(山形大), 松井 弘之(山形大), 竹田 泰典(山形大), 岡本 朋子(DIC), 田邉 弘介(DIC), 時任 静士(山形大), |
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| 抄録(和) | 有機トランジスタの電極形成法として、高精細な印刷が可能な凸版反転印刷法を用いることで、電極間距離（チャネル長）を短くすることができる。それにより、トランジスタの高速動作化が可能となる。しかし、チャネル長を短くするにつれて、電極と半導体材料界面に生じる接触抵抗の影響を大きく受け、見かけ上の移動度が低下することがわかっている。この接触抵抗の大きさを見積もるための手法として、Transfer Line Method (TLM) 法が広く用いられているが、個々のトランジスタの特性ばらつきが大きい場合、正確に抵抗値を見積もることができない。そこで接触抵抗を見積もる手法の一つである四端子測定を用いて、凸版反転印刷電極の接触抵抗およびチャネル抵抗の解析を行った。有機半導体への高分子材料添加条件によってチャネル材料の結晶性が顕著に変化し、接触抵抗の増減に大きく影響があることがわかった。また、電極と半導体間のキャリア注入障壁と接触抵抗との相関がみられた。本研究結果は、四端子測定を印刷有機トランジスタへ適用し、凸版反転印刷電極の接触抵抗を詳細に見積もることで、デバイスの高性能化に向けた大きな指針となることが期待できる。 |
| 抄録(英) | Printing high resolution electrodes is an important technology for realizing the high integration of sensing devices and organic radio-frequency tags as well as for further improving the performance of organic transistors. Reverse offset printing method can form fine patterns of functional materials such as silver nanoparticles with a submicrometer line spacing at room temperature. As a method for forming the electrodes of organic transistors, it is possible to shorten the channel length by using the reverse offset printing method capable of high resolution printing. It enables high integration and high-speed operation of transistors. However, it is known that, as the channel length is shortened, the contact resistance at the electrode/semiconductor interface greatly affects the total resistance of devices and the mobility decreases. Transfer line method (TLM) is widely used as a method to estimate the magnitude of the contact resistance. However, resistance values can not be estimated accurately when the variation in transistor characteristics is large. In this research, the contact resistance and channel resistance were analyzed using four-terminal measurement which is one of the methods of estimating the contact resistance. It was found that the crystallinity of the channel material remarkably varies, depending on the conditions for adding the polymer material to semiconductor. In addition, correlation between the carrier injection property and the energy level of the electrodes was observed. The application of four-terminal measurement to printed devices in this research can be expected to be a major guideline for improving the performance of organic transistors. |
| キーワード(和) | 凸版反転印刷法 / 有機トランジスタ / 四端子測定 / 接触抵抗 |
| キーワード(英) | reverse offset printing / organic transistor / four-terminal measurement / contact resistance |
| 資料番号 | ED2018-2 |
| 発行日 | 2018-04-12 (ED) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2018/4/19(から2日開催) |
| 開催地（和） | 山形大学 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 有機デバイス、酸化物デバイス、一般 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 津田 邦男(東芝) |
| 委員長氏名（英） | Kunio Tsuda(Toshiba) |
| 副委員長氏名（和） | 須原 理彦(首都大) |
| 副委員長氏名（英） | Michihiko Suhara(TMU) |
| 幹事氏名（和） | 新井 学(新日本無線) / 東脇 正高(NICT) |
| 幹事氏名（英） | Manabu Arai(New JRC) / Masataka Higashiwaki(NICT) |
| 幹事補佐氏名（和） | 大石 敏之(佐賀大) / 岩田 達哉(豊橋技科大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Toshiyuki Oishi(Saga Univ.) / Tatsuya Iwata(TUT) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electron Devices |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 凸版反転印刷電極を用いた有機トランジスタの四端子測定 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Four-terminal measurement of organic transistors fabricated by reverse offset printing |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 凸版反転印刷法 / reverse offset printing |
| キーワード(2)（和/英） | 有機トランジスタ / organic transistor |
| キーワード(3)（和/英） | 四端子測定 / four-terminal measurement |
| キーワード(4)（和/英） | 接触抵抗 / contact resistance |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 圓岡 岳 / Gaku Tsuburaoka |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 松井 弘之 / Hiroyuki Matsui |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 竹田 泰典 / Yasunori Takeda |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 岡本 朋子 / Tomoko Okamoto |
| 第 4 著者 所属（和/英） | DIC株式会社(略称：DIC) DIC Corporation(略称：DIC Corp.) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 田邉 弘介 / Kousuke Tanabe |
| 第 5 著者 所属（和/英） | DIC株式会社(略称：DIC) DIC Corporation(略称：DIC Corp.) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 時任 静士 / Shizuo Tokito |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 発表年月日 | 2018-04-19 |
| 資料番号 | ED2018-2 |
| 巻番号（vol） | vol.118 |
| 号番号（no） | ED-9 |
| ページ範囲 | pp.5-8(ED), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2018-04-12 (ED) |