| 講演名 | 2018-04-07 ［招待講演］酸化物半導体InGaZnOx薄膜トランジスタの特性制御 古田 守(高知工科大), アマン S G メハディ(高知工科大), 是友 大地(高知工科大), 曲 勇作(高知工科大), |
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| 抄録(和) | 酸化物半導体をチャネル材料とした薄膜トランジスタ(TFT)は、従来の非晶質シリコンTFTに比較して10倍以上の電界効果移動度を示し、大面積均一性にも優れることより、大画面ディスプレイに向けた次世代TFTとして実用化が始まりつつある。しかしながらZnOやInGaZnOxに代表される酸化物半導体のキャリア生成メカニズムやその特性制御法はシリコン(Si)TFTとは大きく異なる。今回、酸化物半導体TFTのキャリア生成メカニズムとその制御方法に関し、Si TFTプロセスと比較しつつ議論する。 |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | InGaZnOx(IGZO) / 薄膜トランジスタ(TFT) / 特性制御 / ドーピング |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | SDM2018-6,OME2018-6 |
| 発行日 | 2018-03-30 (SDM, OME) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM / OME |
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| 開催期間 | 2018/4/6(から2日開催) |
| 開催地（和） | 沖縄県青年会館 |
| 開催地（英） | Okinawaken Seinen Kaikan |
| テーマ（和） | 薄膜（Si,化合物,有機,フレキシブル）機能デバイス・バイオテクノロジー・材料・評価技術および一般 |
| テーマ（英） | Thin film devices (Si, compound, organic, flexible), Biotechnology, Materials, Characterization, etc. |
| 委員長氏名（和） | 国清 辰也(ルネサス エレクトロニクス) / 森 竜雄(愛知工大) |
| 委員長氏名（英） | Tatsuya Kunikiyo(Renesas) / Tatsuo Mori(Aichi Inst. of Tech.) |
| 副委員長氏名（和） | 品田 高宏(東北大) / 真島 豊(東工大) |
| 副委員長氏名（英） | Takahiro Shinada(Tohoku Univ.) / Yutaka Majima(Tokyo Inst. of Tech.) |
| 幹事氏名（和） | 黒田 理人(東北大) / 山口 直(ルネサス エレクトロニクス) / 山田 俊樹(NICT) / 田口 大(東工大) |
| 幹事氏名（英） | Rihito Kuroda(Tohoku Univ.) / Tadashi Yamaguchi(Renesas) / Toshiki Yamada(NICT) / Dai Taguchi(Tokyo Inst. of Tech.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 池田 浩也(静岡大) / 諸岡 哲(東芝メモリ) / 梶井 博武(阪大) / 嘉治 寿彦(農工大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Hiroya Ikeda(Shizuoka Univ.) / Tetsu Morooka(TOSHIBA MEMORY) / Hirotake Kajii(Osaka Univ.) / Toshihiko Kaji(Tokyo Univ. of Agriculture and Tech.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Silicon Device and Materials / Technical Committee on Organic Molecular Electronics |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ［招待講演］酸化物半導体InGaZnOx薄膜トランジスタの特性制御 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | [Invited Talk] properties of IGZO thin-film transistors. |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | InGaZnOx(IGZO) |
| キーワード(2)（和/英） | 薄膜トランジスタ(TFT) |
| キーワード(3)（和/英） | 特性制御 |
| キーワード(4)（和/英） | ドーピング |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 古田 守 / Mamoru Furuta |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 高知工科大学(略称：高知工科大) Kochi University of Technology(略称：Kochi Univ. of Tech.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | アマン S G メハディ / Aman S G Mehadi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 高知工科大学(略称：高知工科大) Kochi University of Technology(略称：Kochi Univ. of Tech.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 是友 大地 / Daichi Koretomo |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 高知工科大学(略称：高知工科大) Kochi University of Technology(略称：Kochi Univ. of Tech.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 曲 勇作 / Yusaku Magari |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 高知工科大学(略称：高知工科大) Kochi University of Technology(略称：Kochi Univ. of Tech.) |
| 発表年月日 | 2018-04-07 |
| 資料番号 | SDM2018-6,OME2018-6 |
| 巻番号（vol） | vol.118 |
| 号番号（no） | SDM-1,OME-2 |
| ページ範囲 | pp.25-28(SDM), pp.25-28(OME), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2018-03-30 (SDM, OME) |