| 講演名 | 2018-02-08 ［招待講演］ウェハボンディング技術における接合界面への絶縁膜中水分の影響とSiCN膜による抑制効果 手谷 道成(パナソニック・タワージャズセミコンダクター), 森永 泰規(パナソニック・タワージャズセミコンダクター), 浜田 政一(パナソニック・タワージャズセミコンダクター), 竹内 雅彦(パナソニック・タワージャズセミコンダクター), 宇家 眞司(パナソニック・タワージャズセミコンダクター), 矢野 尚(パナソニック・タワージャズセミコンダクター), 佐藤 直昭(パナソニック・タワージャズセミコンダクター), 松本 晋(パナソニック・タワージャズセミコンダクター), |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | SDM2017-99 |
| 発行日 | 2018-02-01 (SDM) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2018/2/8(から1日開催) |
| 開催地（和） | 東京大学/本郷 |
| 開催地（英） | Tokyo Univ. |
| テーマ（和） | 配線・実装技術と関連材料技術 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 国清 辰也(ルネサス エレクトロニクス) |
| 委員長氏名（英） | Tatsuya Kunikiyo(Renesas) |
| 副委員長氏名（和） | 品田 高宏(東北大) |
| 副委員長氏名（英） | Takahiro Shinada(Tohoku Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 黒田 理人(東北大) / 山口 直(ルネサス エレクトロニクス) |
| 幹事氏名（英） | Rihito Kuroda(Tohoku Univ.) / Tadashi Yamaguchi(Renesas) |
| 幹事補佐氏名（和） | 池田 浩也(静岡大) / 諸岡 哲(東芝メモリ) |
| 幹事補佐氏名（英） | Hiroya Ikeda(Shizuoka Univ.) / Tetsu Morooka(TOSHIBA MEMORY) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Silicon Device and Materials |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ［招待講演］ウェハボンディング技術における接合界面への絶縁膜中水分の影響とSiCN膜による抑制効果 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | [Invited Talk] A Novel Role for SiCN to Suppress H2O Outgas from TEOS oxide films in wafer bonding |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 手谷 道成 / Michinari Tetani |
| 第 1 著者 所属（和/英） | パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社(略称：パナソニック・タワージャズセミコンダクター) TowerJazz Panasonic Semiconductor(略称：TPSCo) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 森永 泰規 / Yasunori Morinaga |
| 第 2 著者 所属（和/英） | パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社(略称：パナソニック・タワージャズセミコンダクター) TowerJazz Panasonic Semiconductor(略称：TPSCo) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 浜田 政一 / Masakazu Hamada |
| 第 3 著者 所属（和/英） | パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社(略称：パナソニック・タワージャズセミコンダクター) TowerJazz Panasonic Semiconductor(略称：TPSCo) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 竹内 雅彦 / Masahiko Takeuchi |
| 第 4 著者 所属（和/英） | パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社(略称：パナソニック・タワージャズセミコンダクター) TowerJazz Panasonic Semiconductor(略称：TPSCo) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 宇家 眞司 / Shinji Uya |
| 第 5 著者 所属（和/英） | パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社(略称：パナソニック・タワージャズセミコンダクター) TowerJazz Panasonic Semiconductor(略称：TPSCo) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 矢野 尚 / Hisashi Yano |
| 第 6 著者 所属（和/英） | パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社(略称：パナソニック・タワージャズセミコンダクター) TowerJazz Panasonic Semiconductor(略称：TPSCo) |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 佐藤 直昭 / Naoaki Sato |
| 第 7 著者 所属（和/英） | パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社(略称：パナソニック・タワージャズセミコンダクター) TowerJazz Panasonic Semiconductor(略称：TPSCo) |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 松本 晋 / Susumu Matsumoto |
| 第 8 著者 所属（和/英） | パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社(略称：パナソニック・タワージャズセミコンダクター) TowerJazz Panasonic Semiconductor(略称：TPSCo) |
| 発表年月日 | 2018-02-08 |
| 資料番号 | SDM2017-99 |
| 巻番号（vol） | vol.117 |
| 号番号（no） | SDM-429 |
| ページ範囲 | pp.11-14(SDM), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2018-02-01 (SDM) |