| 講演名 | 2017-12-01 プラズマ融合CMPによる大型ダイヤモンド基板の高効率加工とその加工メカニズム 武田 秀俊(並木精密宝石), 土肥 俊郎(九大), 金 聖祐(並木精密宝石), 會田 英雄(長岡技科大), 白谷 正治(九大), |
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| 抄録(和) | 次世代半導体材料として知られるSiC，GaN，ダイヤモンドは，同時にCMP工程における超難加工材料としても知られている．これらの超難加工材料の高効率加工を実現するため研究開発されたプラズマ融合CMP装置を適用し，その加工特性の調査を行ってきた．本稿では従来の市販品に比べ大型となる自社製のダイヤモンド基板に対しプラズマ融合CMPを実施し，得られた加工結果について報告する． |
| 抄録(英) | SiC, GaN and Diamond are known as next generation semiconductor materials, but on the other hand, these are known as ultra hard processing materials in CMP process. Our research was applying plasma fusion CMP system to these materials and investigating its processing characteristics. In this paper, we reported processing result of own products of diamond single crystal larger than commercial goods using plasma fusion CMP. |
| キーワード(和) | プラズマ融合CMP / P-CVM / CMP / ダイヤモンド / グロー放電 |
| キーワード(英) | plasma fusion CMP / P-CVM / CMP / Diamond / Glow discharge |
| 資料番号 | OME2017-35 |
| 発行日 | 2017-11-24 (OME) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 2017/12/1(から1日開催) |
| 開催地（和） | サンメッセ鳥栖 |
| 開催地（英） | Sun Messe Tosu |
| テーマ（和） | 有機エレクトロニクス、バイオテクノロジー、新規機能性材料、薄膜、機能デバイス、材料・評価技術および一般 |
| テーマ（英） | Organic molecular devices, biotechnology, thin film, novel material, evaluation method, etc |
| 委員長氏名（和） | 森 竜雄(愛知工大) |
| 委員長氏名（英） | Tatsuo Mori(Aichi Inst. of Tech.) |
| 副委員長氏名（和） | 真島 豊(東工大) |
| 副委員長氏名（英） | Yutaka Majima(Tokyo Inst. of Tech.) |
| 幹事氏名（和） | 山田 俊樹(NICT) / 田口 大(東工大) |
| 幹事氏名（英） | Toshiki Yamada(NICT) / Dai Taguchi(Tokyo Inst. of Tech.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 梶井 博武(阪大) / 嘉治 寿彦(農工大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Hirotake Kajii(Osaka Univ.) / Toshihiko Kaji(Tokyo Univ. of Agriculture and Tech.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Organic Molecular Electronics |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | プラズマ融合CMPによる大型ダイヤモンド基板の高効率加工とその加工メカニズム |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | High efficiency processing and its processing mechanism of large area diamond substrate due to plasma fusion CMP |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | プラズマ融合CMP / plasma fusion CMP |
| キーワード(2)（和/英） | P-CVM / P-CVM |
| キーワード(3)（和/英） | CMP / CMP |
| キーワード(4)（和/英） | ダイヤモンド / Diamond |
| キーワード(5)（和/英） | グロー放電 / Glow discharge |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 武田 秀俊 / Hidetoshi Takeda |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 並木精密宝石株式会社(略称：並木精密宝石) Namiki Precision Jewel Co., Ltd.(略称：Namiki Precision Jewel Co., Ltd.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 土肥 俊郎 / Toshiro Doi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 九州大学GIC(略称：九大) GIC, Kyushu University(略称：Kyushu Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 金 聖祐 / Seong Woo Kim |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 並木精密宝石株式会社(略称：並木精密宝石) Namiki Precision Jewel Co., Ltd.(略称：Namiki Precision Jewel Co., Ltd.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 會田 英雄 / Hideo Aida |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学(略称：長岡技科大) Nagaoka University of Technology(略称：Nagaoka Univ. Tech.) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 白谷 正治 / Masaharu Shiratani |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 九州大学(略称：九大) Kyushu University(略称：Kyushu Univ.) |
| 発表年月日 | 2017-12-01 |
| 資料番号 | OME2017-35 |
| 巻番号（vol） | vol.117 |
| 号番号（no） | OME-334 |
| ページ範囲 | pp.1-6(OME), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2017-11-24 (OME) |