| 講演名 | 2018-01-25 分子配向性絶縁膜上の有機半導体薄膜作製とそのTFT特性への影響に関する研究 沖元 慈(東京農工大), 飯村 靖文(東京農工大), 大野 龍蔵(JSR), |
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| 抄録(和) | 有機TFTの電気的特性の向上を目指すために、有機材料の分子配向異方性に注目した。通常絶縁の役割しか果たさないOTFTのゲート絶縁層に光反応性水平配向膜材料を用いることで、新たに有機半導体分子の配向制御という役割を与えた。XRDによる水平配向膜上のペンタセンの結晶構造を調べ、ペンタセン分子の配向を確認した。また、OTFT伝導チャネル部の有機半導体分子の配向制御を行うことで、ソース電流に異方的な特性が現れることがわかった。その結果、配向処理方向に依存して移動度が0.21~0.47cm2/Vsという大きな移動度の異方性を確認した。その異方性は、ゲート絶縁層に用いた水平配向膜材料の面内配向分布によって影響されることを明らかにした。 |
| 抄録(英) | We have focused on the control of molecular alignment of pentacene thin film for improving carrier mobility of pentacene thin film transistor (TFT). We used photo-reactive gate insulating film for controlling the molecular alignment of pentacene deposited on the film. From XRD (X-ray diffraction) measurements, in-plane XRD patterns of pentacene deposited on UV-processed polymer gate film clearly show the controllability of the crystal orientation of the pentacene film through controlled molecular alignment of pentacene. We fabricate pentacene TFTs for investigating the effect of pentacene molecular alignment on the carrier mobility, and the results showed the anisotropic carrier mobility ranging from 0.2 cm2/Vs to 0.5 cm2/Vs, depending on the alignment direction of pentacene. Moreover, we clarified that the larger in-plane anisotropy of polymer gate insulating film leads to the higher anisotropy in carrier mobility in pentacene TFTs. |
| キーワード(和) | TFT / ゲート絶縁膜 / 有機半導体 / 配向制御 |
| キーワード(英) | TFT / Gate insulator / Organic semiconductor / Molecular orientation |
| 資料番号 | EID2017-36 |
| 発行日 | 2018-01-18 (EID) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EID / ITE-IDY / IEIJ-SSL / SID-JC / IEE-EDD |
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| 開催期間 | 2018/1/25(から2日開催) |
| 開催地（和） | 静岡大学 浜松キャンパス |
| 開催地（英） | Shizuoka Univ., Hamamatsu |
| テーマ（和） | 発光型／非発光型ディスプレイ合同研究会 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 小南 裕子(静岡大) / 藤崎 好英(NHK) |
| 委員長氏名（英） | Yuko Kominami(Shizuoka Univ.) / Yoshihide Fujisaki(NHK) |
| 副委員長氏名（和） | 木村 睦(龍谷大) / 山口 留美子(秋田大) / 木村 宗弘(Nagaoka Univ. of Tech.) |
| 副委員長氏名（英） | Mutsumi Kimura(Ryukoku Univ.) / Rumiko Yamaguchi(Akita Univ.) / Munehiro Kimura(Nagaoka Univ. of Tech.) |
| 幹事氏名（和） | 伊達 宗和(NTT) / 山口 雅浩(東工大) / 中村 篤志(静岡大) / 石鍋 隆宏(東北大) |
| 幹事氏名（英） | Munekazu Date(NTT) / Masahiro Yamaguchi(Tokyo Inst. of Tech.) / Atsushi Nakamura(Shizuoka Univ.) / Takahiro Ishinabe(Tohoku Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 新田 博幸(ジャパンディスプレイ) / 中田 充(NHK) / 野中 亮助(東芝) / 奥野 武志(ファーウェイ) / 志賀 智一(電通大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Hiroyuki Nitta(Japan Display) / Mitsuru Nakata(NHK) / Ryosuke Nonaka(Toshiba) / Takeshi Okuno(Huawei) / Tomokazu Shiga(Univ. of Electro-Comm.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electronic Information Displays / Technical Group on Information Display / Division of Solid State Light Sources / Society for Information Display Japan Chapter / Technical Meeting on Electron Devices |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 分子配向性絶縁膜上の有機半導体薄膜作製とそのTFT特性への影響に関する研究 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of Organic Semiconductor Thin Film on Molecular Orientation Insulating Film and Its Effect on TFT Characteristics |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | TFT / TFT |
| キーワード(2)（和/英） | ゲート絶縁膜 / Gate insulator |
| キーワード(3)（和/英） | 有機半導体 / Organic semiconductor |
| キーワード(4)（和/英） | 配向制御 / Molecular orientation |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 沖元 慈 / Shigeru Okimoto |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京農工大学(略称：東京農工大) Tokyo University of Agriculture and Technology(略称：Tokyo Univ. of A&T) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 飯村 靖文 / Yasufumi Iimura |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京農工大学(略称：東京農工大) Tokyo University of Agriculture and Technology(略称：Tokyo Univ. of A&T) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 大野 龍蔵 / Ryuzou Ohno |
| 第 3 著者 所属（和/英） | JSR株式会社(略称：JSR) JSR Corporation(略称：JSR) |
| 発表年月日 | 2018-01-25 |
| 資料番号 | EID2017-36 |
| 巻番号（vol） | vol.117 |
| 号番号（no） | EID-411 |
| ページ範囲 | pp.25-28(EID), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2018-01-18 (EID) |