講演名 | 2017-10-27 SiC溶液法における坩堝からの炭素の溶解現象と結晶品質の関係 高橋 大(信州大), 玄 光龍(信州大), 土本 直道(信州大), 鈴木 皓己(信州大), 沓掛 穂高(信州大), 太子 敏則(信州大), |
---|---|
PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
抄録(和) | |
抄録(英) | |
キーワード(和) | |
キーワード(英) | |
資料番号 | CPM2017-68 |
発行日 | 2017-10-20 (CPM) |
研究会情報 | |
研究会 | CPM |
---|---|
開催期間 | 2017/10/27(から2日開催) |
開催地(和) | 信州大学 長野(工学)キャンパス E7棟 3階 研修室 |
開催地(英) | Shinshu Univ. Nagano-Education Campus, E7 building 3F |
テーマ(和) | 機能性材料(半導体、磁性体、誘電体、透明導電体・半導体、等)薄膜プロセス/材料/デバイス,一般 |
テーマ(英) | |
委員長氏名(和) | 廣瀬 文彦(山形大) |
委員長氏名(英) | Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) |
副委員長氏名(和) | 武山 真弓(北見工大) |
副委員長氏名(英) | Mayumi Takeyama(Kitami Inst. of Tech.) |
幹事氏名(和) | 岩田 展幸(日大) / 中村 雄一(豊橋技科大) |
幹事氏名(英) | Nobuyuki Iwata(Nihon Univ.) / Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) |
幹事補佐氏名(和) | 赤毛 勇一(NTTデバイスイノベーションセンタ) |
幹事補佐氏名(英) | Yuichi Akage(NTT) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Technical Committee on Component Parts and Materials |
---|---|
本文の言語 | JPN-ONLY |
タイトル(和) | SiC溶液法における坩堝からの炭素の溶解現象と結晶品質の関係 |
サブタイトル(和) | 炭素溶解速度と炭素溶解度 |
タイトル(英) | |
サブタイトル(和) | * |
キーワード(1)(和/英) | |
第 1 著者 氏名(和/英) | 高橋 大 / Masaru Takahashi |
第 1 著者 所属(和/英) | 信州大学(略称:信州大) Shinshu University(略称:Shinshu Univ.) |
第 2 著者 氏名(和/英) | 玄 光龍 / Koangyong Hyun |
第 2 著者 所属(和/英) | 信州大学(略称:信州大) Shinshu University(略称:Shinshu Univ.) |
第 3 著者 氏名(和/英) | 土本 直道 / Naomichi Tsuchimoto |
第 3 著者 所属(和/英) | 信州大学(略称:信州大) Shinshu University(略称:Shinshu Univ.) |
第 4 著者 氏名(和/英) | 鈴木 皓己 / Kouki Suzuki |
第 4 著者 所属(和/英) | 信州大学(略称:信州大) Shinshu University(略称:Shinshu Univ.) |
第 5 著者 氏名(和/英) | 沓掛 穂高 / Hodaka Kutsukake |
第 5 著者 所属(和/英) | 信州大学(略称:信州大) Shinshu University(略称:Shinshu Univ.) |
第 6 著者 氏名(和/英) | 太子 敏則 / Toshinori Taishi |
第 6 著者 所属(和/英) | 信州大学(略称:信州大) Shinshu University(略称:Shinshu Univ.) |
発表年月日 | 2017-10-27 |
資料番号 | CPM2017-68 |
巻番号(vol) | vol.117 |
号番号(no) | CPM-268 |
ページ範囲 | pp.5-9(CPM), |
ページ数 | 5 |
発行日 | 2017-10-20 (CPM) |