講演名 2017-10-27
SiC溶液法における坩堝からの炭素の溶解現象と結晶品質の関係
高橋 大(信州大), 玄 光龍(信州大), 土本 直道(信州大), 鈴木 皓己(信州大), 沓掛 穂高(信州大), 太子 敏則(信州大),
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抄録(和)
抄録(英)
キーワード(和)
キーワード(英)
資料番号 CPM2017-68
発行日 2017-10-20 (CPM)

研究会情報
研究会 CPM
開催期間 2017/10/27(から2日開催)
開催地(和) 信州大学 長野(工学)キャンパス E7棟 3階 研修室
開催地(英) Shinshu Univ. Nagano-Education Campus, E7 building 3F
テーマ(和) 機能性材料(半導体、磁性体、誘電体、透明導電体・半導体、等)薄膜プロセス/材料/デバイス,一般
テーマ(英)
委員長氏名(和) 廣瀬 文彦(山形大)
委員長氏名(英) Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.)
副委員長氏名(和) 武山 真弓(北見工大)
副委員長氏名(英) Mayumi Takeyama(Kitami Inst. of Tech.)
幹事氏名(和) 岩田 展幸(日大) / 中村 雄一(豊橋技科大)
幹事氏名(英) Nobuyuki Iwata(Nihon Univ.) / Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.)
幹事補佐氏名(和) 赤毛 勇一(NTTデバイスイノベーションセンタ)
幹事補佐氏名(英) Yuichi Akage(NTT)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Technical Committee on Component Parts and Materials
本文の言語 JPN-ONLY
タイトル(和) SiC溶液法における坩堝からの炭素の溶解現象と結晶品質の関係
サブタイトル(和) 炭素溶解速度と炭素溶解度
タイトル(英)
サブタイトル(和) *
キーワード(1)(和/英)
第 1 著者 氏名(和/英) 高橋 大 / Masaru Takahashi
第 1 著者 所属(和/英) 信州大学(略称:信州大)
Shinshu University(略称:Shinshu Univ.)
第 2 著者 氏名(和/英) 玄 光龍 / Koangyong Hyun
第 2 著者 所属(和/英) 信州大学(略称:信州大)
Shinshu University(略称:Shinshu Univ.)
第 3 著者 氏名(和/英) 土本 直道 / Naomichi Tsuchimoto
第 3 著者 所属(和/英) 信州大学(略称:信州大)
Shinshu University(略称:Shinshu Univ.)
第 4 著者 氏名(和/英) 鈴木 皓己 / Kouki Suzuki
第 4 著者 所属(和/英) 信州大学(略称:信州大)
Shinshu University(略称:Shinshu Univ.)
第 5 著者 氏名(和/英) 沓掛 穂高 / Hodaka Kutsukake
第 5 著者 所属(和/英) 信州大学(略称:信州大)
Shinshu University(略称:Shinshu Univ.)
第 6 著者 氏名(和/英) 太子 敏則 / Toshinori Taishi
第 6 著者 所属(和/英) 信州大学(略称:信州大)
Shinshu University(略称:Shinshu Univ.)
発表年月日 2017-10-27
資料番号 CPM2017-68
巻番号(vol) vol.117
号番号(no) CPM-268
ページ範囲 pp.5-9(CPM),
ページ数 5
発行日 2017-10-20 (CPM)