| 講演名 | 2017-09-01 機械的共振を用いた波長可変マイクロマシン面発光レーザの広帯域掃引・低駆動電圧動作 西村 駿(東工大), 中濵 正統(東工大), 井上 俊也(東工大), 松谷 晃宏(東工大), 坂口 孝浩(東工大), 小山 二三夫(東工大), |
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| 抄録(和) | 面発光レーザにマイクロマシン構造を集積したMEMS VCSELは高速波長掃引や高コヒーレントな光源としてセンシングや医療用イメージングへの応用が期待される．しかしマイクロマシン構造の駆動電圧が高いという課題がある．我々はカンチレバーの短尺化による高速動作と機械的共振の高Q値化による低電圧動作を提案する．今回は機械的共振を利用して，低電圧・高速波長掃引を行ったので報告する． |
| 抄録(英) | WWe demonstrated the low voltage and high speed wavelength sweep operation of 850 nm MEMS VCSELs by using high-Q mechanical resonance of the MEMS structure. At a cantilever length of 106μm, 20 nm sweep operation was achieved with a low sweep voltage of 0.7 Vpp. We estimate that the 50μm-long cantilever device enables us to sweep at a frequency of 746kHz, a bias voltage of 3V and swing voltage of 6Vpp. |
| キーワード(和) | MEMS VCSEL / マイクロマシン構造 / 低電圧 / 高速波長掃引光源 |
| キーワード(英) | MEMS VCSEL / Micromachine structure / High speed swept source |
| 資料番号 | R2017-31,EMD2017-25,CPM2017-46,OPE2017-55,LQE2017-28 |
| 発行日 | 2017-08-24 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | R / EMD / CPM / LQE / OPE |
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| 開催期間 | 2017/8/31(から2日開催) |
| 開催地（和） | 弘前文化センター |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 光部品・電子デバイス実装・信頼性、一般(OECC報告) |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 弓削 哲史(防衛大) / 阿部 宜輝(NTT-AT) / 廣瀬 文彦(山形大) / 山本 剛之(富士通研) / 加藤 和利(九大) |
| 委員長氏名（英） | Tetsushi Yuge(National Defense Academy) / Yoshiteru Abe(NTT-AT) / Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) / Tsuyoshi Yamamoto(Fujitsu Labs.) / Kazutoshi Kato(Kyushu Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 安里 彰(富士通) / / 武山 真弓(北見工大) / 浜本 貴一(九大) / 佐藤 功紀(古河電工) |
| 副委員長氏名（英） | Akira Asato(Fujitsu) / / Mayumi Takeyama(Kitami Inst. of Tech.) / Kiichi Hamamoto(Kyusyu Univ.) / Kouki Sato(Furukawa Electric Industries) |
| 幹事氏名（和） | 田村 信幸(法政大) / 平栗 滋人(鉄道総研) / 林 優一(東北学院大) / 水上 雅人(室蘭工大) / 岩田 展幸(日大) / 中村 雄一(豊橋技科大) / 片桐 崇史(東北大) / 八木 英樹(住友電工) / 荒武 淳(NTT) / 中津原 克己(神奈川工科大) |
| 幹事氏名（英） | Nobuyuki Tamura(Hosei Univ.) / Shigeto Hiraguri(RTRI) / Yuichi Hayashi(Tohoku Gakuin Univ.) / Masato Mizukami(Muroran Inst. of Tech.) / Nobuyuki Iwata(Nihon Univ.) / Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) / Takashi Katagiri(Tohoku Univ.) / Hideki Yagi(SEI) / Atsushi Aratake(NTT) / Katsumi Nakatsuhara(Kanagawa Inst. of Tech.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 井上 真二(関西大) / 岡村 寛之(広島大) / 萓野 良樹(電通大) / 赤毛 勇一(NTTデバイスイノベーションセンタ) / 川北 泰雅(古河電工) / 藤原 直樹(NTT) / 種村 拓夫(東大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Shinji Inoue(Kansai Univ.) / Hiroyuki Okamura(Hiroshima Univ.) / Yoshiki Kayano(Univ. of Electro-Comm.) / Yuichi Akage(NTT) / Yasumasa Kawakita(Furukawa Electric Industries) / Naoki Fujiwara(NTT) / Takuo Tanemura(Univ. of Tokyo) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Reliability / Technical Committee on Electromechanical Devices / Technical Committee on Component Parts and Materials / Technical Committee on Lasers and Quantum Electronics / Technical Committee on OptoElectronics |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 機械的共振を用いた波長可変マイクロマシン面発光レーザの広帯域掃引・低駆動電圧動作 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Wide Wavelength Sweep & Low Voltage Operation of Tunable MEMSVCSEL Employing Mechanical Resonance |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | MEMS VCSEL / MEMS VCSEL |
| キーワード(2)（和/英） | マイクロマシン構造 / Micromachine structure |
| キーワード(3)（和/英） | 低電圧 / High speed swept source |
| キーワード(4)（和/英） | 高速波長掃引光源 |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 西村 駿 / Shun Nishimura |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京工業大学(略称：東工大) Tokyo Institute of Technology(略称：Tokyo Inst. of Tech.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 中濵 正統 / Masanori Nakahama |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京工業大学(略称：東工大) Tokyo Institute of Technology(略称：Tokyo Inst. of Tech.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 井上 俊也 / Shunya Inoue |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東京工業大学(略称：東工大) Tokyo Institute of Technology(略称：Tokyo Inst. of Tech.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 松谷 晃宏 / Akihiro Matutani |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東京工業大学(略称：東工大) Tokyo Institute of Technology(略称：Tokyo Inst. of Tech.) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 坂口 孝浩 / Takahiro Sakaguti |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東京工業大学(略称：東工大) Tokyo Institute of Technology(略称：Tokyo Inst. of Tech.) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 小山 二三夫 / Fumio Koyama |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 東京工業大学(略称：東工大) Tokyo Institute of Technology(略称：Tokyo Inst. of Tech.) |
| 発表年月日 | 2017-09-01 |
| 資料番号 | R2017-31,EMD2017-25,CPM2017-46,OPE2017-55,LQE2017-28 |
| 巻番号（vol） | vol.117 |
| 号番号（no） | R-191,EMD-192,CPM-193,OPE-194,LQE-195 |
| ページ範囲 | pp.37-40(R), pp.37-40(EMD), pp.37-40(CPM), pp.37-40(OPE), pp.37-40(LQE), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2017-08-24 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) |