| 講演名 | 2017-08-31 シリコンマイクロリング共振器水素ガスセンサの提案とその特性評価 松浦 壮佑(横浜国大), 山作 直貴(横浜国大), 國分 泰雄(横浜国大), 西島 喜明(横浜国大), 岡崎 慎二(横浜国大), 荒川 太郎(横浜国大), |
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| 抄録(和) | 光学式水素ガスセンサの超小型・軽量化，低コスト化を目指し，白金/酸化タングステン（Pt/WO3）薄膜と シリコンMRR（Si MRR）を組み合わせた水素ガスセンサを提案し，その設計と動作実証を行った．明確な共振波長シフトを観測するため，Pt/WO3とSi MRRの間のSiO2上部クラッド層厚の検討を行った．その結果に基づき水素ガスセンサを作製した．水素の爆発下限界である濃度4 %のH2/N2混合ガスを曝露したところ，最大で140 pmの共振波長の長波長シフトが観測され，高感度センサとして有望であることを示した． |
| 抄録(英) | Compact and highly-sensitive optical hydrogen gas sensor based on the combination of a Pt/WO3 thin film and a silicon microring resonator (MRR) is proposed and its sensing characteristics are experimentally demonstrated. To observe clear shifts in resonant wavelength of the MRR, the thickness of a SiO2 upper cladding layer was designed. The fabricated sensor exhibited the resonant wavelength shift of up to 140 pm when the sensor was exposed to 4 vol.% H2/N2. This result shows that the proposed sensor is promising for highly-sensitive compact gas sensors. |
| キーワード(和) | 水素ガス / ガスセンサ / 酸化タングステン / 白金触媒 / シリコンマイクロリング共振器 |
| キーワード(英) | Hydrogen gas / Gas sensor / Tungsten trioxide / Platinum catalyst / Silicon microring resonator |
| 資料番号 | R2017-29,EMD2017-23,CPM2017-44,OPE2017-53,LQE2017-26 |
| 発行日 | 2017-08-24 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | R / EMD / CPM / LQE / OPE |
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| 開催期間 | 2017/8/31(から2日開催) |
| 開催地（和） | 弘前文化センター |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 光部品・電子デバイス実装・信頼性、一般(OECC報告) |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 弓削 哲史(防衛大) / 阿部 宜輝(NTT-AT) / 廣瀬 文彦(山形大) / 山本 剛之(富士通研) / 加藤 和利(九大) |
| 委員長氏名（英） | Tetsushi Yuge(National Defense Academy) / Yoshiteru Abe(NTT-AT) / Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) / Tsuyoshi Yamamoto(Fujitsu Labs.) / Kazutoshi Kato(Kyushu Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 安里 彰(富士通) / / 武山 真弓(北見工大) / 浜本 貴一(九大) / 佐藤 功紀(古河電工) |
| 副委員長氏名（英） | Akira Asato(Fujitsu) / / Mayumi Takeyama(Kitami Inst. of Tech.) / Kiichi Hamamoto(Kyusyu Univ.) / Kouki Sato(Furukawa Electric Industries) |
| 幹事氏名（和） | 田村 信幸(法政大) / 平栗 滋人(鉄道総研) / 林 優一(東北学院大) / 水上 雅人(室蘭工大) / 岩田 展幸(日大) / 中村 雄一(豊橋技科大) / 片桐 崇史(東北大) / 八木 英樹(住友電工) / 荒武 淳(NTT) / 中津原 克己(神奈川工科大) |
| 幹事氏名（英） | Nobuyuki Tamura(Hosei Univ.) / Shigeto Hiraguri(RTRI) / Yuichi Hayashi(Tohoku Gakuin Univ.) / Masato Mizukami(Muroran Inst. of Tech.) / Nobuyuki Iwata(Nihon Univ.) / Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) / Takashi Katagiri(Tohoku Univ.) / Hideki Yagi(SEI) / Atsushi Aratake(NTT) / Katsumi Nakatsuhara(Kanagawa Inst. of Tech.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 井上 真二(関西大) / 岡村 寛之(広島大) / 萓野 良樹(電通大) / 赤毛 勇一(NTTデバイスイノベーションセンタ) / 川北 泰雅(古河電工) / 藤原 直樹(NTT) / 種村 拓夫(東大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Shinji Inoue(Kansai Univ.) / Hiroyuki Okamura(Hiroshima Univ.) / Yoshiki Kayano(Univ. of Electro-Comm.) / Yuichi Akage(NTT) / Yasumasa Kawakita(Furukawa Electric Industries) / Naoki Fujiwara(NTT) / Takuo Tanemura(Univ. of Tokyo) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Reliability / Technical Committee on Electromechanical Devices / Technical Committee on Component Parts and Materials / Technical Committee on Lasers and Quantum Electronics / Technical Committee on OptoElectronics |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | シリコンマイクロリング共振器水素ガスセンサの提案とその特性評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Proposal and Characterization of Hydrogen Gas Sensor Based on Silicon Microring Resonator |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 水素ガス / Hydrogen gas |
| キーワード(2)（和/英） | ガスセンサ / Gas sensor |
| キーワード(3)（和/英） | 酸化タングステン / Tungsten trioxide |
| キーワード(4)（和/英） | 白金触媒 / Platinum catalyst |
| キーワード(5)（和/英） | シリコンマイクロリング共振器 / Silicon microring resonator |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 松浦 壮佑 / Sosuke Matsuura |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 横浜国立大学(略称：横浜国大) Yokohama National University(略称：Yokohama National Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 山作 直貴 / Naoki Yamasaku |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 横浜国立大学(略称：横浜国大) Yokohama National University(略称：Yokohama National Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 國分 泰雄 / Yasuo Kokubun |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 横浜国立大学(略称：横浜国大) Yokohama National University(略称：Yokohama National Univ.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 西島 喜明 / Yoshiaki Nishijima |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 横浜国立大学(略称：横浜国大) Yokohama National University(略称：Yokohama National Univ.) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 岡崎 慎二 / Shinji Okazaki |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 横浜国立大学(略称：横浜国大) Yokohama National University(略称：Yokohama National Univ.) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 荒川 太郎 / Taro Arakawa |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 横浜国立大学(略称：横浜国大) Yokohama National University(略称：Yokohama National Univ.) |
| 発表年月日 | 2017-08-31 |
| 資料番号 | R2017-29,EMD2017-23,CPM2017-44,OPE2017-53,LQE2017-26 |
| 巻番号（vol） | vol.117 |
| 号番号（no） | R-191,EMD-192,CPM-193,OPE-194,LQE-195 |
| ページ範囲 | pp.27-30(R), pp.27-30(EMD), pp.27-30(CPM), pp.27-30(OPE), pp.27-30(LQE), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2017-08-24 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) |