| 講演名 | 2017-08-31 波長掃引帯域の変動への適応によるSS-OCT膜厚計測値変動の抑制 上野 雅浩(NTT), 坂本 尊(NTT), 豊田 誠治(NTT), 佐々木 雄三(NTT), 山口 城治(NTT), 阪本 匡(NTT), 藤本 正俊(浜松ホトニクス), 山田 真広(浜松ホトニクス), 菅井 栄一(NTT-AT), 小平 徹(NTT-AT), |
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| 抄録(和) | 層画像を高速に撮像する技術である。SS-OCTを用いた膜厚計測においては、波長掃引光源から出力された波長掃引光を観察対象に照射して得られる反射光を利用するが、何らかの影響によって掃引波長帯域が変動すると、観察対象の屈折率波長分散が原因で観察対象内の屈折率が変動するため、掃引波長帯域が異なると膜厚計測値が異なるという問題がある。我々は、屈折率波長分散特性を使って、波長変動に適応した信号処理を行うことにより、膜厚測定値の変動を抑制できることを確認したので、報告する。 |
| 抄録(英) | Swept source optical coherence tomography (SS-OCT) is a technique to capture tomographic images of moving objects at high speed with high resolution of several 10 µm level. In thickness measurement using SS-OCT technique, the light reflected when the swept light is irradiated to the observation target is used. If the central wavelength of the sweep range fluctuates due to some influence, the optical path length within the observation target fluctuates due to the refractive index chromatic dispersion of the target. Therefore, the fluctuation of the center wavelength affects the thickness measurement value. In this paper, we describe that fluctuation of thickness measurement value can be suppressed by performing signal processing adapted to wavelength fluctuation using the dispersion characteristics. |
| キーワード(和) | 屈折率波長分散 / SS-OCT / リスケーリング / リサンプリング / PSF |
| キーワード(英) | Wavelength-dispersive refractive index / SS-OCT / Rescaling / Resampling / PSF |
| 資料番号 | R2017-26,EMD2017-20,CPM2017-41,OPE2017-50,LQE2017-23 |
| 発行日 | 2017-08-24 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | R / EMD / CPM / LQE / OPE |
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| 開催期間 | 2017/8/31(から2日開催) |
| 開催地（和） | 弘前文化センター |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 光部品・電子デバイス実装・信頼性、一般(OECC報告) |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 弓削 哲史(防衛大) / 阿部 宜輝(NTT-AT) / 廣瀬 文彦(山形大) / 山本 剛之(富士通研) / 加藤 和利(九大) |
| 委員長氏名（英） | Tetsushi Yuge(National Defense Academy) / Yoshiteru Abe(NTT-AT) / Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) / Tsuyoshi Yamamoto(Fujitsu Labs.) / Kazutoshi Kato(Kyushu Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 安里 彰(富士通) / / 武山 真弓(北見工大) / 浜本 貴一(九大) / 佐藤 功紀(古河電工) |
| 副委員長氏名（英） | Akira Asato(Fujitsu) / / Mayumi Takeyama(Kitami Inst. of Tech.) / Kiichi Hamamoto(Kyusyu Univ.) / Kouki Sato(Furukawa Electric Industries) |
| 幹事氏名（和） | 田村 信幸(法政大) / 平栗 滋人(鉄道総研) / 林 優一(東北学院大) / 水上 雅人(室蘭工大) / 岩田 展幸(日大) / 中村 雄一(豊橋技科大) / 片桐 崇史(東北大) / 八木 英樹(住友電工) / 荒武 淳(NTT) / 中津原 克己(神奈川工科大) |
| 幹事氏名（英） | Nobuyuki Tamura(Hosei Univ.) / Shigeto Hiraguri(RTRI) / Yuichi Hayashi(Tohoku Gakuin Univ.) / Masato Mizukami(Muroran Inst. of Tech.) / Nobuyuki Iwata(Nihon Univ.) / Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) / Takashi Katagiri(Tohoku Univ.) / Hideki Yagi(SEI) / Atsushi Aratake(NTT) / Katsumi Nakatsuhara(Kanagawa Inst. of Tech.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 井上 真二(関西大) / 岡村 寛之(広島大) / 萓野 良樹(電通大) / 赤毛 勇一(NTTデバイスイノベーションセンタ) / 川北 泰雅(古河電工) / 藤原 直樹(NTT) / 種村 拓夫(東大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Shinji Inoue(Kansai Univ.) / Hiroyuki Okamura(Hiroshima Univ.) / Yoshiki Kayano(Univ. of Electro-Comm.) / Yuichi Akage(NTT) / Yasumasa Kawakita(Furukawa Electric Industries) / Naoki Fujiwara(NTT) / Takuo Tanemura(Univ. of Tokyo) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Reliability / Technical Committee on Electromechanical Devices / Technical Committee on Component Parts and Materials / Technical Committee on Lasers and Quantum Electronics / Technical Committee on OptoElectronics |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 波長掃引帯域の変動への適応によるSS-OCT膜厚計測値変動の抑制 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Suppression of SS-OCT thickness Measurement Value Drift by Adaptation to Central Wavelength Shift of Sweep Range |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 屈折率波長分散 / Wavelength-dispersive refractive index |
| キーワード(2)（和/英） | SS-OCT / SS-OCT |
| キーワード(3)（和/英） | リスケーリング / Rescaling |
| キーワード(4)（和/英） | リサンプリング / Resampling |
| キーワード(5)（和/英） | PSF / PSF |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 上野 雅浩 / Masahiro Ueno |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社(略称：NTT) Nippon Telegraph and Telephone Corporation(略称：NTT) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 坂本 尊 / Takashi Sakamoto |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社(略称：NTT) Nippon Telegraph and Telephone Corporation(略称：NTT) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 豊田 誠治 / Seiji Toyoda |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社(略称：NTT) Nippon Telegraph and Telephone Corporation(略称：NTT) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 佐々木 雄三 / Yuzo Sasaki |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社(略称：NTT) Nippon Telegraph and Telephone Corporation(略称：NTT) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 山口 城治 / Joji Yamaguchi |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社(略称：NTT) Nippon Telegraph and Telephone Corporation(略称：NTT) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 阪本 匡 / Tadashi Sakamoto |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 日本電信電話株式会社(略称：NTT) Nippon Telegraph and Telephone Corporation(略称：NTT) |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 藤本 正俊 / Masatoshi Fujimoto |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 浜松ホトニクス株式会社(略称：浜松ホトニクス) Hamamatsu Photonics K. K.(略称：Hamamatsu Photonics K. K.) |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 山田 真広 / Mahiro Yamada |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 浜松ホトニクス株式会社(略称：浜松ホトニクス) Hamamatsu Photonics K. K.(略称：Hamamatsu Photonics K. K.) |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 菅井 栄一 / Eiichi Sugai |
| 第 9 著者 所属（和/英） | NTTアドバンステクノロジ株式会社(略称：NTT-AT) NTT Advanced Technology Corporation(略称：NTT-AT) |
| 第 10 著者 氏名（和/英） | 小平 徹 / Toru Kodaira |
| 第 10 著者 所属（和/英） | NTTアドバンステクノロジ株式会社(略称：NTT-AT) NTT Advanced Technology Corporation(略称：NTT-AT) |
| 発表年月日 | 2017-08-31 |
| 資料番号 | R2017-26,EMD2017-20,CPM2017-41,OPE2017-50,LQE2017-23 |
| 巻番号（vol） | vol.117 |
| 号番号（no） | R-191,EMD-192,CPM-193,OPE-194,LQE-195 |
| ページ範囲 | pp.11-16(R), pp.11-16(EMD), pp.11-16(CPM), pp.11-16(OPE), pp.11-16(LQE), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2017-08-24 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) |